表面新物質とエピタクシー

Author(s)

Bibliographic Information

表面新物質とエピタクシー

日本物理学会編

培風館, 1992.12

Title Transcription

ヒョウメン シンブッシツ ト エピタクシー

Available at  / 127 libraries

Note

編集委員: 井野正三ほか

執筆者: 井野正三ほか

各章末: 参考文献

Description and Table of Contents

Description

本書では、エピタクシーの最近までの発展経過を簡単に述べ、表面構造や表面の相転移について説明したのち、エピタクシー過程の代表的な研究方法と、それから得られる情報について解説する。つぎに、次世代のエレクトロニクスを担う代表的な材料である半導体、金属、酸化物超伝導体、ダイヤモンド等をとり上げ、そのエピタクシャル成長や薄膜の制御方法、薄膜の物性について、最近の発展を中心に説明する。

Table of Contents

  • １　エピタクシー研究の歴史
  • ２　表面の理論
  • ３　表面の相転移
  • ４　ＧａＡｓ表面および吸着層
  • ５　金属およびＳｉ表面におけるアルカリ金属吸着
  • ６　走査トンネル顕微鏡と半導体表面の理論
  • ７　走査トンネル顕微鏡によるＳｉ表面の観察
  • ８　電子顕微鏡法による表面構造の解析
  • ９　電子顕微鏡によるエピタクシャル成長のその場観察
  • １０　ＲＨＥＥＤの強度振動とエピタクシーの制御
  • １１　電子線、Ｘ線分光によるエピタクシーの解析
  • １２　イオン散乱分光によるエピタクシーのその場解析
  • １３　半導体薄膜のエピタクシーとその制御
  • １４　金属の多層膜の生成とその物性
  • １５　酸化物超伝導体のエピタクシーとその表面・界面
  • １６　気相からのダイヤモンド成長とエピタクシー

by "BOOK database"

Details

  • NCID
    BN08417135
  • ISBN
    • 4563022128
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    vi, 262p, 図版2p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
Page Top