ナノテクノロジー・表面分析の科学 : 原子・分子スケールで表面を見る
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ナノテクノロジー・表面分析の科学 : 原子・分子スケールで表面を見る
（ブルーバックス, B-948）
講談社, 1992.12
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ナノテクノロジー ヒョウメン ブンセキ ノ カガク : ゲンシ ブンシ スケール デ ヒョウメン オ ミル
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Description and Table of Contents
Description
今日の半導体産業の超ＬＳＩ素子では、１ミリメートルの１万分の１単位の大きさのチリが、２０センチメートル程度のシリコン基盤の上に１個も見つからないという、気の遠くなるような清浄さが目標とされています。そのためにも、原子の数を１つ１つ数えるのに等しいレベルで固体表面を観察し、分析する技術が要求されます。ことは半導体産業に限りません。ナノテクノロジーの申し子のようなこれらの表面分析法について、その基本原理から用途まで、わかりやすく紹介しましょう。
Table of Contents
- 第１章 序にかえて—ナノテクノロジーの世界へ
- 第２章 微小領域の表面世界をさぐるオージェ電子分光法
- 第３章 商品開発の名アシスタント・ＥＳＣＡ
- 第４章 極微量の不純物を分析するＳＩＭＳ
- 第５章 表面分析装置のもっとも効果的な使い方
- 第６章 最新ナノテクノロジー表面分析器
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