スパッタ薄膜 : 基礎と応用

著者

• 小林, 春洋 コバヤシ, ハルヒロ

書誌事項

スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著

日刊工業新聞社, 1993.2

タイトル読み

スパッタ ハクマク : キソ ト オウヨウ

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• スパッタ薄膜 : 基礎と応用

  1993

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

内容説明・目次

目次

• １章　スパッタ薄膜とは？—他の薄膜技術との違いと応用のあらまし
• ２章　気体の性質
• ３章　低気圧放電現象
• ４章　スパッタ装置
• ５章　薄膜の成長過程と特性
• ６章　応用

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN08694157
• ISBN:
  • 4526032735
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: v, 172, viip
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
• 件名:
  • BSH : 薄膜