シリコンLSIと化学

著者

• 伴, 保隆 バン, ヤスタカ

書誌事項

シリコンLSIと化学

伴保隆著

（新産業化学シリーズ / 日本化学会編）

大日本図書, 1993.10

タイトル読み

シリコン LSI ト カガク

内容説明・目次

目次

• １　シリコンＬＳＩ
• ２　シリコンＬＳＩの基礎
• ３　シリコンＬＳＩと化学
• ４　ウェハープロセスと化学
• ５　超ＬＳＩの今後と応用技術

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN09789918
• ISBN:
  • 4477003943
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vi,252p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 集積回路
  • BSH : シリコン(半導体)
• 親書誌ID:
  • BN09789849