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薄膜物性入門

Ludmila Eckertová著 ; 井上泰宣, 鎌田喜一郎, 濱崎勝義訳

内田老鶴圃, 1994.6

タイトル別名

Physics of thin films

タイトル読み

ハクマク ブッセイ ニュウモン

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注記

原著第2版の翻訳

参考文献: p[365]-374

内容説明・目次

目次

  • 第1章 緒言
  • 第2章 薄膜の作製法
  • 第3章 薄膜の膜厚および蒸着速度の測定方法
  • 第4章 薄膜の形成機構
  • 第5章 薄膜の分析
  • 第6章 薄膜の性質
  • 第7章 薄膜の応用

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN10814138
  • ISBN
    • 4753650316
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 原本言語コード
    eng
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    x, 381p
  • 大きさ
    22cm
  • 分類
  • 件名
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