薄膜物性入門
著者
書誌事項
薄膜物性入門
内田老鶴圃, 1994.6
- タイトル別名
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Physics of thin films
- タイトル読み
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ハクマク ブッセイ ニュウモン
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注記
原著第2版の翻訳
参考文献: p[365]-374
内容説明・目次
目次
- 第1章 緒言
- 第2章 薄膜の作製法
- 第3章 薄膜の膜厚および蒸着速度の測定方法
- 第4章 薄膜の形成機構
- 第5章 薄膜の分析
- 第6章 薄膜の性質
- 第7章 薄膜の応用
「BOOKデータベース」 より