ULSIデバイス・プロセス技術

著者

• 伊藤, 隆司 イトウ, タカシ
• 電子情報通信学会 デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ

書誌事項

ULSIデバイス・プロセス技術

伊藤隆司編著 ; 電子情報通信学会編

電子情報通信学会 , コロナ社 (発売), 1995.2

タイトル別名

ULSIデバイスプロセス技術

Device and process technologies for ultra large scale integration

タイトル読み

ULSI デバイス・プロセス ギジュツ

注記

監修: 菅野卓雄

各章末: 文献

内容説明・目次

目次

• バイポーラトランジスタの動作機構
• ＭＯＳトランジスタの動作原理
• ＵＬＳＩデバイス構造
• ＵＬＳＩの製造方法
• リソグラフィとエッチング
• ＵＬＳＩ製造の要素技術
• 信頼性と検査技術
• ＵＬＳＩのための将来技術

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN12078623
• ISBN:
  • 4885521262
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京,東京
• ページ数/冊数: vii, 322p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • BSH : 集積回路
  • NDLSH : 集積回路