薄膜作製応用ハンドブック
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薄膜作製応用ハンドブック
エヌ・ティー・エス, 1995.11
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ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック
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注記
監修: 権田俊一
執筆者: 権田俊一ほか
各章末: 参考・引用文献
ほかの編者: 塚田俊久, 平尾孝