ウルトラクリーンULSI技術

Author(s)

• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ

Bibliographic Information

ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著

（アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修, カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ・ ブッセイ ・ デバイス ; 15）

培風館, 1995.12

Other Title

ウルトラクリーンULSI技術

Title Transcription

ウルトラクリーン ULSI ギジュツ

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• ウルトラクリーンULSI技術

  1995

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

参考文献: 各章末

Description and Table of Contents

Description

本書は、幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者が、クリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説し、併せてその技術によって可能となる新デバイスにまで言及した大変示唆に富む解説書。

Table of Contents

• ４端子デバイスエレクトロニクス
• 高精度トータル低温化プロセス
• 表面・界面のウルトラクリーン化技術
• クリーン表面とガス分子の相互作用

by "BOOK database"

Details

• NCID: BN13643698
• ISBN:
  • 4563036153
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: xi, 366p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • BSH : 集積回路
  • NDLSH : 半導体
• Parent Bibliography ID:
  • BN10717539