ウルトラクリーンULSI技術

著者

• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ

書誌事項

ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著

（アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修, カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ・ ブッセイ ・ デバイス ; 15）

培風館, 1995.12

タイトル別名

ウルトラクリーンULSI技術

タイトル読み

ウルトラクリーン ULSI ギジュツ

注記

参考文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

本書は、幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者が、クリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説し、併せてその技術によって可能となる新デバイスにまで言及した大変示唆に富む解説書。

目次

• ４端子デバイスエレクトロニクス
• 高精度トータル低温化プロセス
• 表面・界面のウルトラクリーン化技術
• クリーン表面とガス分子の相互作用

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN13643698
• ISBN:
  • 4563036153
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xi, 366p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • BSH : 集積回路
  • NDLSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BN10717539