薄膜作成の基礎

著者

• 麻蒔, 立男 アサマキ, タツオ

書誌事項

薄膜作成の基礎

麻蒔立男著

日刊工業新聞社, 1996.3

第3版

タイトル読み

ハクマク サクセイ ノ キソ

注記

各章末: 参考文献

内容説明・目次

内容説明

今日、薄膜を作るには真空を用いることが常識となっている。本書ではまず薄膜を作るために必要な真空技術を前半で理解し、後半で薄膜を作るための技術—薄膜作成技術ともいうべき多数の技術について述べる。

目次

• 第１章　薄膜技術
• 第２章　真空の基礎
• 第３章　真空ポンプと真空計測
• 第４章　真空装置の実際
• 第５章　薄膜の基礎
• 第６章　薄膜作成法
• 第７章　蒸着法
• 第８章　スパッタ
• 第９章　熱酸化窒化と気相成長ＣＶＤ
• 第１０章　エッチング
• 第１１章　平坦化技術

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN14295768
• ISBN:
  • 4526038318
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 7, 357, 4p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • BSH : 薄膜
  • BSH : 真空技術
  • NDLSH : 薄膜