薄膜作成の基礎

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薄膜作成の基礎

麻蒔立男著

日刊工業新聞社, 1996.3

第3版

Title Transcription

ハクマク サクセイ ノ キソ

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Note

各章末: 参考文献

Description and Table of Contents

Description

今日、薄膜を作るには真空を用いることが常識となっている。本書ではまず薄膜を作るために必要な真空技術を前半で理解し、後半で薄膜を作るための技術—薄膜作成技術ともいうべき多数の技術について述べる。

Table of Contents

  • 第１章　薄膜技術
  • 第２章　真空の基礎
  • 第３章　真空ポンプと真空計測
  • 第４章　真空装置の実際
  • 第５章　薄膜の基礎
  • 第６章　薄膜作成法
  • 第７章　蒸着法
  • 第８章　スパッタ
  • 第９章　熱酸化窒化と気相成長ＣＶＤ
  • 第１０章　エッチング
  • 第１１章　平坦化技術

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Details

  • NCID
    BN14295768
  • ISBN
    • 4526038318
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    7, 357, 4p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
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