シリコンの科学

Author(s)

• 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ
• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 新田, 雄久 ニッタ, カツヒサ

Bibliographic Information

シリコンの科学

UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修

（Surface science technology series, 3）

リアライズ社, 1996.6

Title Transcription

シリコン ノ カガク

Note

編集委員会: 滝口蓮一ほか

執筆者: 大見忠弘ほか

参考文献: 各項末

Details

• NCID: BN14827619
• ISBN:
  • 4947655887
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 19, 1030, 16p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • NDLSH : シリコン(半導体)
  • BSH : シリコン(半導体)
• Parent Bibliography ID:
  • BN14827776