ナノエレクトロニクスを支える材料解析
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ナノエレクトロニクスを支える材料解析
電子情報通信学会 , コロナ社 (発売), 1996.11
- タイトル読み
-
ナノ エレクトロニクス オ ササエル ザイリョウ カイセキ
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注記
参考文献: 各章末
内容説明・目次
目次
- 第1章 ナノエレクトロニクスと材料解析
- 第2章 電子ビームによる材料解析
- 第3章 シンクロトロン放射光による材料解析
- 第4章 イオンビームによる材料解析
- 第5章 走査型プローブ顕微鏡による材料解析
- 第6章 まとめ
「BOOKデータベース」 より