ナノエレクトロニクスを支える材料解析

著者

• 尾嶋, 正治 オシマ, マサハル
• 本間, 芳和 ホンマ, ヨシカズ
• 電子情報通信学会 デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ

書誌事項

ナノエレクトロニクスを支える材料解析

尾嶋正治, 本間芳和編著 ; 電子情報通信学会編

電子情報通信学会 , コロナ社 (発売), 1996.11

タイトル読み

ナノ エレクトロニクス オ ササエル ザイリョウ カイセキ

注記

参考文献: 各章末

内容説明・目次

目次

• 第１章　ナノエレクトロニクスと材料解析
• 第２章　電子ビームによる材料解析
• 第３章　シンクロトロン放射光による材料解析
• 第４章　イオンビームによる材料解析
• 第５章　走査型プローブ顕微鏡による材料解析
• 第６章　まとめ

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN15322480
• ISBN:
  • 4885521440
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京,東京
• ページ数/冊数: vii, 275p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体