書誌事項

超微細加工技術

応用物理学会編 ; 徳山巍編著

(応用物理学シリーズ / 応用物理学会編, 専門コース||センモン コース)

オーム社, 1997.2

タイトル読み

チョウビサイ カコウ ギジュツ

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注記

参考文献: 各章末

索引: p[305]-309

執筆: 徳山巍ほか

内容説明・目次

内容説明

各種技術を幅広く網羅!今後の応用・将来動向までを考察する。

目次

  • 光リソグラフィ技術
  • 電子線リソグラフィ技術
  • イオンビームリソグラフィ技術
  • X線リソグラフィ技術
  • レジスト材料
  • エッチング技術
  • 形状シミュレーション技術
  • 超微細加工技術の応用

「BOOKデータベース」 より

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