Glow discharge processes : sputtering and plasma etching

著者

• Chapman, Brian N.

書誌事項

Glow discharge processes : sputtering and plasma etching

Brian Chapman

（A Wiley-Interscience publication）

Wiley, c1980

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA00536398
• ISBN:
  • 047107828X
• LCCN: 80017047
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xv, 406 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • NDC8 : 427.5
  • LCC : QC702.7.P6
  • DC : 537.5/2
• 件名:
  • LCSH : Sputtering (Physics)
  • LCSH : Glow discharges
  • LCSH : Plasma etching
• 親書誌ID:
  • BA00493885