薄膜材料入門

著者

• 伊藤, 昭夫 イトウ, アキオ

書誌事項

薄膜材料入門

伊藤昭夫編著

（新教科書シリーズ）

裳華房, 1998.10

タイトル別名

Introduction to thin film materials

タイトル読み

ハクマク ザイリョウ ニュウモン

注記

欧文標題は標題紙裏による

参考文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

本書はいわゆる“先端技術”として今後の薄膜を考える立場で、薄膜材料と材料製造技術としての製膜技術を取り上げ、これらの現状および将来の展望についてわかりやすく説明し、この分野にあまり関わりがなかった人達にも興味を持って戴けるように心がけた。

目次

• 第１章　材料としての薄膜
• 第２章　材料開発ならびに材料作製技術としての薄膜技術
• 第３章　表面改質膜材料
• 第４章　機能膜材料
• 第５章　金属薄膜材料
• 第６章　無機・セラミック薄膜材料
• 第７章　有機・ポリマー薄膜材料
• 第８章　半導体薄膜材料
• 第９章　薄膜材料のキャラクタリゼーション
• 第１０章　薄膜材料の物性測定

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA38370797
• ISBN:
  • 4785361050
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: x, 303p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
  • NDC9 : 501.4
• 件名:
  • BSH : 薄膜
• 親書誌ID:
  • BA30363197