プラズマエレクトロニクス
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プラズマエレクトロニクス
（電気・電子・情報工学系テキストシリーズ / 秋月影雄, 高橋進一共編, 7）
培風館, 1999.7
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プラズマ エレクトロニクス
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参考文献: 章末
Description and Table of Contents
Description
本書は、非平衡プラズマの諸特性の理解と、新たなプラズマの機能を予測しデザインするための基礎知識の修得を目標とした入門的テキストである。まず、位置と速度の空間で行われる荷電粒子イオン（スウォーム）の輸送と、平衡状態にあるプラズマの特徴を説明する。次に、気相と表面のミクロな衡突素過程と、ボルツマン方程式によるマクロな粒子輸送について解説する。そして、非平衡プラズマのモデリングとその時間発展解法、および代表的なプラズマ（ＣＣＰ、ＩＣＰ）を説明していく。最後に、モデリング例を記述する。
Table of Contents
- １章 はじめに
- ２章 電子やイオンスウォームの運動
- ３章 プラズマの特徴
- ４章 プラズマの衝突素過程と固体表面相互作用
- ５章 ボルツマン方程式と電子イオン輸送
- ６章 非平衡プラズマのモデリング
- ７章 Ｃ結合高周波プラズマ
- ８章 Ｌ結合高周波プラズマ
- ９章 モデリングと応用
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