次世代精密位置決め技術

Author(s)

• 精密工学会 セイミツ コウガッカイ
• 精密工学会超精密位置決め専門委員会 セイミツ コウガッカイ チョウセイミツ イチギメ センモン イインカイ
• 次世代精密位置決め技術編集委員会 ジセダイ セイミツ イチギメ ギジュツ ヘンシュウ イインカイ

Bibliographic Information

次世代精密位置決め技術

精密工学会超精密位置決め専門委員会, 次世代精密位置決め技術編集委員会監修

フジ・テクノシステム, 2000.4

Other Title

Present and future technology of ultraprecision positioning

Title Transcription

ジセダイ セイミツ イチギメ ギジュツ

Note

編集委員長: 大塚二郎

参考・引用文献: 各節末

Details

• NCID: BA46716933
• ISBN:
  • 493855576X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 15, 674p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC9 : 501.22
  • NDC9 : 531.38
• Subject Headings:
  • BSH : 精密測定
  • NDLSH : 自動制御