エピタキシャル成長のメカニズム
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エピタキシャル成長のメカニズム
(シリーズ : 結晶成長のダイナミクス / 西永頌, 宮澤信太郎, 佐藤清隆シリーズ編集委員, 3)
共立出版, 2002.5
- タイトル読み
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エピタキシャル セイチョウ ノ メカニズム
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文献: 各節末
内容説明・目次
内容説明
本巻では、エピタキシャル成長の熱力学、結晶成長のカイネティクス、基板の表面状態とエピタキシャル成長、ヘテロエピタキシャル成長といった、エピタキシャル成長にとって最も基本となり重要なテーマを取り上げ解説している。成長方法は、最も基本となる液相エピタキシャル成長、気相エピタキシャル成長、分子線エピタキシャル成長の3方法を取り上げた。
目次
- 1 基本概念(エピタキシャル成長の基礎;結晶成長に影響を与える因子;成長モード)
- 2 エピタキシャル成長の熱力学(固液平衡からの成長(LPE);固気平衡からの成長)
- 3 結晶成長のカイネティクス(成長表面のカイネティクス;溶液成長における溶質元素の拡散;気相成長の物質輸送効果)
- 4 基板の表面状態とエピタキシャル成長(面方位とエピタキシャル成長;微傾斜面とエピタキシー;サーファクタントを利用した成長)
- 5 ヘテロエピタキシャル成長(ヘテロエピタキシャル成長と格子整合;ヘテロ構造の応力・歪み)
「BOOKデータベース」 より