薄膜化技術

著者

• 和佐, 清孝 ワサ, キヨタカ
• 早川, 茂 ハヤカワ, シゲル

書誌事項

薄膜化技術

和佐清孝, 早川茂著

共立出版, 2002.6

第3版

タイトル読み

ハクマクカ ギジュツ

注記

折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)

文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

薄膜化技術はナノテクノロジーの基礎。思い通りのナノ材料・デバイスが薄膜化技術で作製できる。最新のデータとノウハウを増補。

目次

• 第１部　薄膜とその応用（薄膜材料；薄膜の形成法と評価；スパッタプロセスにおける興味ある現象）
• 第２部　スパッタの基礎と応用（スパッタの基礎；スパッタ装置と動作特性；化合物薄膜とスパッタ蒸着；薄膜構造の精密制御とナノメータ材料）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA57243403
• ISBN:
  • 4320086139
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: viii, 316p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 薄膜