薄膜化技術
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薄膜化技術
共立出版, 2002.6
第3版
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ハクマクカ ギジュツ
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注記
折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)
文献: 各章末
内容説明・目次
内容説明
薄膜化技術はナノテクノロジーの基礎。思い通りのナノ材料・デバイスが薄膜化技術で作製できる。最新のデータとノウハウを増補。
目次
- 第1部 薄膜とその応用(薄膜材料;薄膜の形成法と評価;スパッタプロセスにおける興味ある現象)
- 第2部 スパッタの基礎と応用(スパッタの基礎;スパッタ装置と動作特性;化合物薄膜とスパッタ蒸着;薄膜構造の精密制御とナノメータ材料)
「BOOKデータベース」 より