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薄膜化技術

和佐清孝, 早川茂著

共立出版, 2002.6

第3版

タイトル読み

ハクマクカ ギジュツ

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注記

折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)

文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

薄膜化技術はナノテクノロジーの基礎。思い通りのナノ材料・デバイスが薄膜化技術で作製できる。最新のデータとノウハウを増補。

目次

  • 第1部 薄膜とその応用(薄膜材料;薄膜の形成法と評価;スパッタプロセスにおける興味ある現象)
  • 第2部 スパッタの基礎と応用(スパッタの基礎;スパッタ装置と動作特性;化合物薄膜とスパッタ蒸着;薄膜構造の精密制御とナノメータ材料)

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA57243403
  • ISBN
    • 4320086139
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    viii, 316p
  • 大きさ
    22cm
  • 分類
  • 件名
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