真空ハンドブック
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真空ハンドブック
オーム社, 2002.7
新版
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シンクウ ハンドブック
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内容説明・目次
内容説明
本書は、半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心として編集したものである。
目次
- 第１章 真空の基礎
- 第２章 真空用部品
- 第３章 真空用構成材料
- 第４章 熱
- 第５章 低温
- 第６章 プラズマ・イオンビーム
- 第７章 表面分析
- 第８章 薄膜・表面加工
- 第９章 応用
「BOOKデータベース」 より