トコトンやさしい薄膜の本

著者

• 麻蒔, 立男 アサマキ, タツオ

書誌事項

トコトンやさしい薄膜の本

麻蒔立男著

（B&Tブックス, . 今日からモノ知りシリーズ||キョウ カラ モノシリ シリーズ）

日刊工業新聞社, 2002.8

タイトル別名

薄膜の本 : トコトンやさしい

タイトル読み

トコトン ヤサシイ ハクマク ノ ホン

注記

参考書: p159

参考文献: p158-159

内容説明・目次

内容説明

本書では、“とことんやさしい薄膜”を心がけ、多くの方に「薄膜」がどんなものであるか、どんな新しいことができるか、わかっていただけるように努めた。

目次

• 第１章　人類の夢を実現する薄膜
• 第２章　薄膜作成に欠かせない真空
• 第３章　薄膜の構造と性質、その作成法
• 第４章　蒸着法で作る薄膜
• 第５章　スパッタ法で作る薄膜
• 第６章　気相成長（ＣＶＤ）法で作る薄膜
• 第７章　めっき薄膜
• 第８章　エッチングと平坦化の技術

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA58692060
• ISBN:
  • 4526049999
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 159p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 薄膜
• 親書誌ID:
  • BN12068175