トコトンやさしい薄膜の本

Author(s)

• 麻蒔, 立男 アサマキ, タツオ

Bibliographic Information

トコトンやさしい薄膜の本

麻蒔立男著

（B&Tブックス, . 今日からモノ知りシリーズ||キョウ カラ モノシリ シリーズ）

日刊工業新聞社, 2002.8

Other Title

薄膜の本 : トコトンやさしい

Title Transcription

トコトン ヤサシイ ハクマク ノ ホン

Note

参考書: p159

参考文献: p158-159

Description and Table of Contents

Description

本書では、“とことんやさしい薄膜”を心がけ、多くの方に「薄膜」がどんなものであるか、どんな新しいことができるか、わかっていただけるように努めた。

Table of Contents

• 第１章　人類の夢を実現する薄膜
• 第２章　薄膜作成に欠かせない真空
• 第３章　薄膜の構造と性質、その作成法
• 第４章　蒸着法で作る薄膜
• 第５章　スパッタ法で作る薄膜
• 第６章　気相成長（ＣＶＤ）法で作る薄膜
• 第７章　めっき薄膜
• 第８章　エッチングと平坦化の技術

by "BOOK database"

Details

• NCID: BA58692060
• ISBN:
  • 4526049999
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 159p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 薄膜
• Parent Bibliography ID:
  • BN12068175