トコトンやさしい薄膜の本
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Bibliographic Information
トコトンやさしい薄膜の本
(B&Tブックス, . 今日からモノ知りシリーズ||キョウ カラ モノシリ シリーズ)
日刊工業新聞社, 2002.8
- Other Title
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薄膜の本 : トコトンやさしい
- Title Transcription
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トコトン ヤサシイ ハクマク ノ ホン
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Prefectural University of Hiroshima Library and Academic Information Center
549.8||A86110014239
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Note
参考書: p159
参考文献: p158-159
Description and Table of Contents
Description
本書では、“とことんやさしい薄膜”を心がけ、多くの方に「薄膜」がどんなものであるか、どんな新しいことができるか、わかっていただけるように努めた。
Table of Contents
- 第1章 人類の夢を実現する薄膜
- 第2章 薄膜作成に欠かせない真空
- 第3章 薄膜の構造と性質、その作成法
- 第4章 蒸着法で作る薄膜
- 第5章 スパッタ法で作る薄膜
- 第6章 気相成長(CVD)法で作る薄膜
- 第7章 めっき薄膜
- 第8章 エッチングと平坦化の技術
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