薄膜作製応用ハンドブック

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薄膜作製応用ハンドブック

小川正毅, 多賀康訓編集委員 ; 八瀬清志編集協力委員

エヌ・ティー・エス, 2003.4

21世紀版

Title Transcription

ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック

Available at  / 201 libraries

Note

監修: 權田俊一

執筆者: 權田俊一ほか

参考・引用文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特徴と特性；薄膜材料の電気特性　ほか）
  • 第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）
  • 第３編　薄膜・表面・界面の分析と評価（薄膜・表面・界面の分析・評価；薄膜分析・評価対象各論）
  • 第４編　薄膜技術の応用と展望（半導体デバイス；光部品　ほか）

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Details

  • NCID
    BA61815894
  • ISBN
    • 4860430190
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    5, 15, 1330, 25, 19, 18p, 図版18p, 表9p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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