薄膜作製応用ハンドブック
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書誌事項
薄膜作製応用ハンドブック
エヌ・ティー・エス, 2003.4
21世紀版
- タイトル読み
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ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック
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注記
監修: 權田俊一
執筆者: 權田俊一ほか
参考・引用文献: 各章末
内容説明・目次
目次
- 第1編 薄膜材料の特性と特徴(薄膜の特徴と特性;薄膜材料の電気特性 ほか)
- 第2編 薄膜の作製と加工(基板と表面処理;PVD法 ほか)
- 第3編 薄膜・表面・界面の分析と評価(薄膜・表面・界面の分析・評価;薄膜分析・評価対象各論)
- 第4編 薄膜技術の応用と展望(半導体デバイス;光部品 ほか)
「BOOKデータベース」 より