表面分析:SIMS : 二次イオン質量分析法の基礎と応用

著者

• Briggs, D.
• Seah, M. P.
• 志水, 隆一 シミズ, リュウイチ
• 二瓶, 好正 ニヘイ, ヨシマサ
• 新SIMS研究会 シン シムス ケンキュウカイ

書誌事項

表面分析:SIMS : 二次イオン質量分析法の基礎と応用

D.ブリッグス, M.P.シーア編 ; 志水隆一, 二瓶好正監訳 ; 新SIMS研究会訳

アグネ承風社, 2003.7

タイトル別名

Practical surface analysis. Volume2: Ion and neutral spectroscopy

タイトル読み

ヒョウメン ブンセキ SIMS : ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ ノ キソ ト オウヨウ

注記

引用文献: 各章末

Practical surface analysis.Volume2:Ion and neutral spectroscopy 原著第2版の抄訳

内容説明・目次

目次

• 表面におけるＳＩＭＳ（新規解説文）
• ＳＩＭＳの装置
• スパッター深さ方向分析の基本概念
• スパッタリングを用いた定量分析法：二次イオンおよびスパッター中性粒子質量分析法（抄訳）
• ダイナミックＳＩＭＳとそのマイクロエレクトロニクスへの応用
• スタティックＳＩＭＳ（無機材料への応用；有機材料の表面分析）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA62889819
• ISBN:
  • 4900508101
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 原本言語コード: eng
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xix, 429p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 428.4
  • NDC9 : 428.4
• 件名:
  • BSH : 表面(工学上)
  • BSH : イオンビーム
  • BSH : 質量分析