よくわかる半導体LSIのできるまで : 製造工程の流れを追って解説

著者

• 「半導体LSIのできるまで」編集委員会 ハンドウタイ LSI ノ デキルマデ ヘンシュウ イインカイ

書誌事項

よくわかる半導体LSIのできるまで : 製造工程の流れを追って解説

「半導体LSIのできるまで」編集委員会編著

日刊工業新聞社, 2004.11

改訂第2版

タイトル別名

半導体LSIのできるまで : よくわかる

タイトル読み

ヨク ワカル ハンドウタイ LSI ノ デキルマデ : セイゾウ コウテイ ノ ナガレ オ オッテ カイセツ

内容説明・目次

内容説明

ＬＳＩの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説。半導体ＬＳＩに関しては多くの本が出版されています。しかし半導体ＬＳＩはどのようなものかを解説した内容がほとんどで、それがどのようにして作られていくのかを、工程を追って判り易く解説した本が欲しい、という声に応えました。

目次

• 第１章　半導体ＬＳＩとは
• 第２章　半導体製造技術及び装置技術の動向
• 第３章　設計工程
• 第４章　ウェーハ製造工程
• 第５章　フォトマスク製作工程
• 第６章　ウェーハ処理工程（前工程）
• 第７章　組立工程
• 第８章　検査工程

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA69935572
• ISBN:
  • 4526053759
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 172p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• 件名:
  • BSH : 集積回路