よくわかる半導体LSIのできるまで : 製造工程の流れを追って解説

著者

    • 「半導体LSIのできるまで」編集委員会 ハンドウタイ LSI ノ デキルマデ ヘンシュウ イインカイ

書誌事項

よくわかる半導体LSIのできるまで : 製造工程の流れを追って解説

「半導体LSIのできるまで」編集委員会編著

日刊工業新聞社, 2004.11

改訂第2版

タイトル別名

半導体LSIのできるまで : よくわかる

タイトル読み

ヨク ワカル ハンドウタイ LSI ノ デキルマデ : セイゾウ コウテイ ノ ナガレ オ オッテ カイセツ

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内容説明・目次

内容説明

LSIの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説。半導体LSIに関しては多くの本が出版されています。しかし半導体LSIはどのようなものかを解説した内容がほとんどで、それがどのようにして作られていくのかを、工程を追って判り易く解説した本が欲しい、という声に応えました。

目次

  • 第1章 半導体LSIとは
  • 第2章 半導体製造技術及び装置技術の動向
  • 第3章 設計工程
  • 第4章 ウェーハ製造工程
  • 第5章 フォトマスク製作工程
  • 第6章 ウェーハ処理工程(前工程)
  • 第7章 組立工程
  • 第8章 検査工程

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA69935572
  • ISBN
    • 4526053759
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    172p
  • 大きさ
    21cm
  • 分類
  • 件名
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