プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

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プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

市村博司, 池永勝著

日刊工業新聞社, 2005.2

Other Title

Thin films

薄膜の基礎と応用 : プラズマプロセスによる

Title Transcription

プラズマ プロセス ニヨル ハクマク ノ キソ ト オウヨウ

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Note

参考文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第１章　薄膜の研究構造—全体を視る眼を養おう
  • 第２章　プラズマプロセスの特異性—診断の木の実
  • 第３章　薄膜の形成過程と構造—ガスも積もれば硬くなる
  • 第４章　内部応力—ストレスのご利益
  • 第５章　薄膜材料の硬さ—硬さの底にあるもの
  • 第６章　密着力—引っ掻くことでわかるもの
  • 第７章　性能劣化—寿命は速度過程である
  • 第８章　複合表面改質—より硬くよりしなやかに
  • 第９章　工業的応用—プラズマのご利益

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Details

  • NCID
    BA71274597
  • ISBN
    • 4526054208
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    ix, 276p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
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