薄膜作成の基礎

著者

• 麻蒔, 立男 アサマキ, タツオ

書誌事項

薄膜作成の基礎

麻蒔立男著

日刊工業新聞社, 2005.7

第4版

タイトル読み

ハクマク サクセイ ノ キソ

注記

参考文献: 各章末

内容説明・目次

目次

• 第１章　薄膜技術
• 第２章　真空の基礎
• 第３章　真空ポンプと真空計測
• 第４章　真空装置の実際
• 第５章　薄膜の基礎
• 第６章　薄膜作成法
• 第７章　基板
• 第８章　蒸着法
• 第９章　スパッタ
• 第１０章　気相成長ＣＶＤと熱酸化窒化
• 第１１章　エッチング
• 第１２章　精密めっき
• 第１３章　平坦化技術

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA72997104
• ISBN:
  • 4526055034
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xiii, 352p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 薄膜
  • BSH : 真空技術