センサ・マイクロマシン工学

著者

• 藤田, 博之 フジタ, ヒロユキ

書誌事項

センサ・マイクロマシン工学

藤田博之編著

（EE text）

オーム社, 2005.10

タイトル別名

センサマイクロマシン工学

タイトル読み

センサ マイクロマシン コウガク

注記

参考文献: p199-204

内容説明・目次

目次

• １章　本書の構成と使い方
• ２章　センサ・マイクロマシンの概要
• ３章　微細構造製作プロセス技術
• ４章　物理センサ
• ５章　マイクロアクチュエータとマイクロマシン
• ６章　化学センサとマイクロ化学システム

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73931950
• ISBN:
  • 9784274201349
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: viii, 209p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC8 : 501.22
  • NDC9 : 501.22
• 件名:
  • BSH : センサ
  • BSH : マイクロマシン
• 親書誌ID:
  • BA64815675