機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

著者

• 近藤, 英一 コンドウ, エイイチ

書誌事項

機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

近藤英一著

共立出版, 2005.10

タイトル別名

機械材料系のためのマイクロナノ加工の原理

マイクロ・ナノ加工の原理 : 機械・材料系のための

タイトル読み

キカイ ザイリョウケイ ノ タメ ノ マイクロ ナノ カコウ ノ ゲンリ

注記

参考文献: p[213]

内容説明・目次

目次

• 第１章　導入
• 第２章　真空と気体分子運動論
• 第３章　プラズマの基礎
• 第４章　物理蒸着法（ＰＶＤ）
• 第５章　薄膜の形成過程
• 第６章　エッチング
• 第７章　フォトリソグラフィ
• 付録Ａ　基礎定数表と真空の単位
• 付録Ｂ　材料の科学についてのノート
• 付録Ｃ　分布関数とマックスウェル—ボルツマン分布
• 付録Ｄ　対数目盛と対数グラフ

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA74074754
• ISBN:
  • 4320081544
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: ix, 226p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 薄膜
  • BSH : ナノテクノロジー