「薄膜」のキホン : 原子に迫る超微細・超高密度の世界

著者

• 麻蒔, 立男 アサマキ, タツオ

書誌事項

「薄膜」のキホン : 原子に迫る超微細・超高密度の世界

麻蒔立男著

（イチバンやさしい理工系, SBE-006）

ソフトバンククリエイティブ, 2010.9

タイトル別名

「薄膜」のキホン

薄膜のキホン

「薄膜」のキホン : 原子に迫る超微細超高密度の世界

薄膜のキホン : 原子に迫る超微細超高密度の世界

タイトル読み

ハクマク ノ キホン : ゲンシ ニ セマル チョウビサイ チョウコウミツド ノ セカイ

注記

参考文献: p186-188

タイトルは奥付による

内容説明・目次

内容説明

わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面をもつ薄膜技術のすべてにわたり、注目すべきポイントにしぼってやさしく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界が見えてくるのかなどを紹介。

目次

• 第１章　よい暮らしは美と微から
• 第２章　真空は薄膜づくりの貴重な環境
• 第３章　薄膜をつくろう
• 第４章　薄膜には独特の性質が表れる
• 第５章　基板と薄膜を強く結びつけるための技術
• 第６章　薄膜づくりにはプラズマが大切
• 第７章　古くから用いられた蒸着法
• 第８章　大面積ソース・量産向きのスパッタ法
• 第９章　気体から薄膜をつくる気相成長法
• 第１０章　液体の中で薄膜をつくる—めっき
• 第１１章　薄膜を回路やトランジスタに加工するエッチング
• 第１２章　薄膜を使って前進—その可能性はかぎりない

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB03511925
• ISBN:
  • 9784797357134
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 190p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 薄膜
• 親書誌ID:
  • BB02090322