半導体LSI技術

Author(s)

• 牧野, 博之 マキノ, ヒロシ
• 益子, 洋治 マシコ, ヨウジ
• 山本, 秀和 ヤマモト, ヒデカズ

Bibliographic Information

半導体LSI技術

牧野博之, 益子洋治, 山本秀和著

（未来へつなぐデジタルシリーズ = Connection to the future with digital series, 7）

共立出版, 2012.3

Other Title

Semiconductor LSI technology

Title Transcription

ハンドウタイ LSI ギジュツ

Description and Table of Contents

Table of Contents

• ＬＳＩとはなにか
• 半導体の物性
• 半導体デバイス
• ＣＭＯＳデジタル回路
• ＣＭＯＳ論理設計
• ＬＳＩ設計フロー
• レイアウト設計
• ＬＳＩの性能
• ＬＳＩの製造
• シリコンウェーハ製造技術
• 微細パターン形成技術
• トランジスタ形成技術
• 敗戦形成技術
• パッケージング技術
• 計測・検査・評価技術とクリーン化技術

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Details

• NCID: BB08653745
• ISBN:
  • 9784320123076
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: ix, 287p
• Size: 26cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• Subject Headings:
  • BSH : 集積回路
• Parent Bibliography ID:
  • BB07010295