プラズマプロセシングの基礎

著者

• Chapman, Brian N.
• 岡本, 幸雄 オカモト, ユキオ

書誌事項

プラズマプロセシングの基礎

Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳

電気書院, 1985.11

タイトル別名

Glow discharge processes : sputtering and plasma etching

タイトル読み

プラズマ プロセシング ノ キソ

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• プラズマプロセシングの基礎

  1985

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

Glow discharge processes, c1980 の翻訳

参考文献: p[357]-386

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00319697
• ISBN:
  • 4485661180
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 原本言語コード: eng
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 13, 391p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 427.6
  • NDLC : MC241
• 件名:
  • NDLSH : プラズマ