電子線マイクロアナリシス : 走査電子顕微鏡, X線マイクロアナライザ分析法
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電子線マイクロアナリシス : 走査電子顕微鏡, X線マイクロアナライザ分析法
日刊工業新聞社, 1987.2
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デンシセン マイクロ アナリシス : ソウサ デンシ ケンビキョウ Xセン マイクロ アナライザ ブンセキホウ
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引用・参考文献: p592-597
内容説明・目次
内容説明
本書は「ＥＰＭＡとは何ぞや」をあらためて整理し、基本を理論と実際面から十分理解するとともに、精度良く利用するための詳細な現場的分析技術と、臨機応変な広い応用技術について書かれたものである。
目次
- 装置と分析法の概要
- 電子とＸ線
- 装置各部の構造と役割
- ＥＰＭＡの空間分解能
- 試料作成の基本
- 分析条件の設定
- データの解析と解釈
- 表面観察（電子線像）の実際
- 定性分析の実際
- 線分析の実際
- 面分析（Ｘ線像）の実際
- 定量分析の実際
- 状態分析の実際
- ＥＰＭＡのさまざまな付属機能および自動化
- オペレータが行う装置の診断と調整
「BOOKデータベース」 より