電子線マイクロアナリシス : 走査電子顕微鏡, X線マイクロアナライザ分析法

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電子線マイクロアナリシス : 走査電子顕微鏡, X線マイクロアナライザ分析法

副島啓義著

日刊工業新聞社, 1987.2

Title Transcription

デンシセン マイクロ アナリシス : ソウサ デンシ ケンビキョウ Xセン マイクロ アナライザ ブンセキホウ

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引用・参考文献: p592-597

Description and Table of Contents

Description

本書は「EPMAとは何ぞや」をあらためて整理し、基本を理論と実際面から十分理解するとともに、精度良く利用するための詳細な現場的分析技術と、臨機応変な広い応用技術について書かれたものである。

Table of Contents

  • 装置と分析法の概要
  • 電子とX線
  • 装置各部の構造と役割
  • EPMAの空間分解能
  • 試料作成の基本
  • 分析条件の設定
  • データの解析と解釈
  • 表面観察(電子線像)の実際
  • 定性分析の実際
  • 線分析の実際
  • 面分析(X線像)の実際
  • 定量分析の実際
  • 状態分析の実際
  • EPMAのさまざまな付属機能および自動化
  • オペレータが行う装置の診断と調整

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