シリコンの物性と評価法

書誌事項

シリコンの物性と評価法

小間篤 [ほか] 共著

(電子材料シリーズ)

丸善, 1987.7

タイトル読み

シリコン ノ ブッセイ ト ヒョウカホウ

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注記

文献: 章末

参考書: p[243]〜244

その他の共著者: 白木靖寛, 齋木幸一郎, 飯田厚夫

内容説明・目次

内容説明

20世紀を象徴する物質、それは粉れもなくシリコンだと言うことができよう。本書は、この恵まれた資質を持つ魅力的な物質シリコンに興味を抱き、それを理解し、使いこなそうという人達のために書かれたものである。実際に、材料について悩み、発展に努力している方々によって書かれているので読者は、問題解決のための指針を得ると同時に、単に解説には終らない、材料に対する著者らの熱い思いも感じとれるであろう。

目次

  • 1 物性(シリコン結晶と格子欠陥;シリコンの電子物性;表面と界面)
  • 2 評価法(結晶の完全性の評価;微量不純物の分析;電気特性の評価;表面・界面の評価)

「BOOKデータベース」 より

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN01165985
  • ISBN
    • 4621031856
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    x, 251p
  • 大きさ
    22cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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