マイクロプロセスハンドブック

著者

• 難波, 進 ナンバ, ススム

書誌事項

マイクロプロセスハンドブック

難波進編著

工業調査会, 1990.10

タイトル別名

マイクロプロセスブック

タイトル読み

マイクロ プロセス ハンド ブック

内容説明・目次

目次

• 第１章　最近のエレクトロニクスとナノメータ加工
• 第２章　マイクロプロセスの基礎過程
• 第３章　露光技術
• 第４章　レジスト技術
• 第５章　膜形成技術
• 第６章　ドライエッチング
• 第７章　ドーピング技術
• 第８章　評価・修復技術
• 第９章　極限加工と量子デバイス

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN05669652
• ISBN:
  • 4769310811
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 698p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 集積回路