マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧

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マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧

樋口俊郎, 生田幸士編集幹事

フジ・テクノシステム, 1992.3

Other Title

マイクロメカニカルシステム : 実用化技術総覧

Title Transcription

マイクロ メカニカル システム ジツヨウカ ギジュツ ソウラン

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Note

付: 参考・引用文献

索引: p697-714

Description and Table of Contents

Description

本書は、所謂シリコンのマイクロマシニングなどによる革新的な技術にその内容。

Table of Contents

  • 第１編　基礎論（要素技術；材料）
  • 第２編　微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工；機械部品加工のためのエッチング；真空蒸着；イオンプレーティング；ＣＶＤ、気相成長法；スパッタリング法；エッチング；シンクロトロン放射光等）
  • 第３編　マイクロメカニズムの要素（コンベンショナルな手法によるマイクロ機械要素；新しい手法によるマイクロ機械要素；微小量の測定および評価）
  • 第４編　マイクロメカニズム事例（センサ；マイクロメカニズム；バイオ・医学用への応用）

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Details

  • NCID
    BN07380754
  • ISBN
    • 493855528X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    xvii, 714p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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