マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス
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マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス
培風館, 1992.6
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マイクロ マシーニング ト マイクロ メカトロニクス
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内容説明・目次
目次
- 1 マイクロマシーニング
- 2 マイクロフィジックス
- 3 マイクロメカニカルセンサ
- 4 マイクロアクチュエータとマイクロメカニズム
- 5 マイクロメカトロニクス(「まめ」)システム
- 6 応用
- 7 将来動向と課題
「BOOKデータベース」 より