シリコンの科学

著者

• 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ
• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 新田, 雄久 ニッタ, カツヒサ

書誌事項

シリコンの科学

UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修

（Surface science technology series, 3）

リアライズ社, 1996.6

タイトル読み

シリコン ノ カガク

注記

編集委員会: 滝口蓮一ほか

執筆者: 大見忠弘ほか

参考文献: 各項末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN14827619
• ISBN:
  • 4947655887
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 19, 1030, 16p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • NDLSH : シリコン(半導体)
  • BSH : シリコン(半導体)
• 親書誌ID:
  • BN14827776