ナノ構造作製技術の基礎

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ナノ構造作製技術の基礎

曽根純一編

（シリーズ物性物理の新展開）

丸善, 1996.11

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ナノ コウゾウ サクセイ ギジュツ ノ キソ

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参考文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

本書は、ナノ構造の物性を正しく理解しその工学的応用を図るという観点で、分子線エピタキシャル成長法、有機金属気相成長法、原子層エピタキシャル成長法、ビーム露光技術、ドライエッチング法について、物理的基礎から最先端の技術まで、豊富な図・写真を含む実験結果を交えて、わかりやすく解説する。

目次

  • 分子線エピタキシー
  • 有機金属気相成長法
  • 原子層エピタキシー
  • ビーム露光技術
  • 結晶加工技術

「BOOKデータベース」 より

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