ナノ構造作製技術の基礎

Author(s)

• 曽根, 純一 ソネ, ジュンイチ

Bibliographic Information

ナノ構造作製技術の基礎

曽根純一編

（シリーズ物性物理の新展開）

丸善, 1996.11

Title Transcription

ナノ コウゾウ サクセイ ギジュツ ノ キソ

Access to Electronic Resource 1 items

• ナノ構造作製技術の基礎

  1996

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

参考文献: 各章末

Description and Table of Contents

Description

本書は、ナノ構造の物性を正しく理解しその工学的応用を図るという観点で、分子線エピタキシャル成長法、有機金属気相成長法、原子層エピタキシャル成長法、ビーム露光技術、ドライエッチング法について、物理的基礎から最先端の技術まで、豊富な図・写真を含む実験結果を交えて、わかりやすく解説する。

Table of Contents

• 分子線エピタキシー
• 有機金属気相成長法
• 原子層エピタキシー
• ビーム露光技術
• 結晶加工技術

by "BOOK database"

Details

• NCID: BN15494431
• ISBN:
  • 4621042319
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: xii, 185p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • BSH : 半導体
  • BSH : 結晶成長
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : メゾスコピック系
• Parent Bibliography ID:
  • BN09820632