次世代精密位置決め技術

著者

• 精密工学会 セイミツ コウガッカイ
• 精密工学会超精密位置決め専門委員会 セイミツ コウガッカイ チョウセイミツ イチギメ センモン イインカイ
• 次世代精密位置決め技術編集委員会 ジセダイ セイミツ イチギメ ギジュツ ヘンシュウ イインカイ

書誌事項

次世代精密位置決め技術

精密工学会超精密位置決め専門委員会, 次世代精密位置決め技術編集委員会監修

フジ・テクノシステム, 2000.4

タイトル別名

Present and future technology of ultraprecision positioning

タイトル読み

ジセダイ セイミツ イチギメ ギジュツ

注記

編集委員長: 大塚二郎

参考・引用文献: 各節末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA46716933
• ISBN:
  • 493855576X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 15, 674p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC9 : 501.22
  • NDC9 : 531.38
• 件名:
  • BSH : 精密測定
  • NDLSH : 自動制御