ナノテクノロジーのための走査プローブ顕微鏡

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ナノテクノロジーのための走査プローブ顕微鏡

日本表面科学会編

(表面分析技術選書)

丸善, 2002.8

Other Title

SPM

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ナノテクノロジー ノ タメ ノ ソウサ プローブ ケンビキョウ

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Description and Table of Contents

Description

本書では、多くの走査プローブ顕微鏡法のうちから、現在もっとも広く使用されていると考えられる走査トンネル顕微鏡法、原子間力顕微鏡法および、この外の主なプローブ顕微鏡法に関して、その原理、装置、測定例、応用例についてとりあげている。

Table of Contents

  • 1 走査プローブ顕微鏡とは
  • 2 理論と測定原理
  • 3 装置と実験方法
  • 4 走査トンネル顕微鏡による表面観察
  • 5 原子間力顕微鏡

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