ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡
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ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡
（表面分析技術選書）
丸善, 2004.2
- Other Title
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走査電子顕微鏡 : ナノテクノロジーのための
SEM
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ナノテクノロジー ノ タメ ノ ソウサ デンシ ケンビキョウ
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Note
引用・参考文献: 各章末
索引: [183]-188
Description and Table of Contents
Description
本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新しい切り口からＳＥＭの能力と可能性をまとめたものである。おそらく、少なからぬ方がＳＥＭでもこのようなものが観えるのか、あるいは、このような使い方もあるということに驚かれるであろう。原子レベルの分解能がなくとも、操作性の良さと他の計測法や加工法との複合化のしやすさにより、単なる観察手段にとどまらず、ナノ計測・ナノ加工のツールとして、ますます重要な位置を占め、その応用範囲が広がっていくものと考えられる。物質系のナノサイエンス、ナノテクノロジーを中心とした構成。
Table of Contents
- １ 走査電子顕微鏡の概要（基本構成；装置の種類 ほか）
- ２ 装置と測定法（装置；試料処理 ほか）
- ３ 像形成と分解能（電子と固体との相互作用；像形成と各種コントラスト ほか）
- ４ ナノマテリアルの観察（半導体ナノ構造の観察；カーボンナノチューブの観察 ほか）
- ５ その場観察・複合観察（超高真空ＳＥＭによるその場観察；プローブ顕微鏡との複合化 ほか）
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