ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡
著者
書誌事項
ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡
(表面分析技術選書)
丸善, 2004.2
- タイトル別名
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走査電子顕微鏡 : ナノテクノロジーのための
SEM
- タイトル読み
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ナノテクノロジー ノ タメ ノ ソウサ デンシ ケンビキョウ
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注記
引用・参考文献: 各章末
索引: [183]-188
内容説明・目次
内容説明
本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新しい切り口からSEMの能力と可能性をまとめたものである。おそらく、少なからぬ方がSEMでもこのようなものが観えるのか、あるいは、このような使い方もあるということに驚かれるであろう。原子レベルの分解能がなくとも、操作性の良さと他の計測法や加工法との複合化のしやすさにより、単なる観察手段にとどまらず、ナノ計測・ナノ加工のツールとして、ますます重要な位置を占め、その応用範囲が広がっていくものと考えられる。物質系のナノサイエンス、ナノテクノロジーを中心とした構成。
目次
- 1 走査電子顕微鏡の概要(基本構成;装置の種類 ほか)
- 2 装置と測定法(装置;試料処理 ほか)
- 3 像形成と分解能(電子と固体との相互作用;像形成と各種コントラスト ほか)
- 4 ナノマテリアルの観察(半導体ナノ構造の観察;カーボンナノチューブの観察 ほか)
- 5 その場観察・複合観察(超高真空SEMによるその場観察;プローブ顕微鏡との複合化 ほか)
「BOOKデータベース」 より