半導体LSI技術

著者

• 牧野, 博之 マキノ, ヒロシ
• 益子, 洋治 マシコ, ヨウジ
• 山本, 秀和 ヤマモト, ヒデカズ

書誌事項

半導体LSI技術

牧野博之, 益子洋治, 山本秀和著

（未来へつなぐデジタルシリーズ = Connection to the future with digital series, 7）

共立出版, 2012.3

タイトル別名

Semiconductor LSI technology

タイトル読み

ハンドウタイ LSI ギジュツ

内容説明・目次

目次

• ＬＳＩとはなにか
• 半導体の物性
• 半導体デバイス
• ＣＭＯＳデジタル回路
• ＣＭＯＳ論理設計
• ＬＳＩ設計フロー
• レイアウト設計
• ＬＳＩの性能
• ＬＳＩの製造
• シリコンウェーハ製造技術
• 微細パターン形成技術
• トランジスタ形成技術
• 敗戦形成技術
• パッケージング技術
• 計測・検査・評価技術とクリーン化技術

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB08653745
• ISBN:
  • 9784320123076
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: ix, 287p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• 件名:
  • BSH : 集積回路
• 親書誌ID:
  • BB07010295