デバイスとプロセス

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書誌事項

デバイスとプロセス

西澤潤一編

（半導体研究 / 半導体研究振興会編, 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38, 40-46巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 11-24）

工業調査会, 1987.8-

  • [その1]
  • その2
  • その3
  • その4
  • その5
  • その6
  • その7
  • その8
  • その9
  • その10
  • その11
  • その12
  • その13
  • その14

タイトル読み

デバイス ト プロセス

大学図書館所蔵 件 / 全179件

  • 愛知教育大学 附属図書館図

    [その1]549.8||H29||2603004022, その2549.8||H29||2803004023, その3549.8||H29||3003004024, その4549.8||H29||3203004025, その5549.8||H29||3403004026, その6549.8||H29||3603004027, その7549.8||H29||3803004028, その8549.8||H29||4003004029, その9549.8||H29||4103004030, その10549.8||H29||4203004031, その11549.8||H29||4303004032, その12549.8||H29||4403004033, その13549.8||H29||4503004034, その14549.8||H29||4603004035

    OPAC

  • 愛知県立大学 長久手キャンパス図書館

    [その1]549/26/864204276694, その2549/28/864204276710, その3549/30/864204276738, その4549/32/864204276756, その5549/34/864204276774, その6549/36/864204276792, その7549/38/864204276818, その8549/40/864204276836, その9549/41/864204276845, その10549/42/864204276854, その14549/46/864204276890, その13549/45/864204276881, その12549/44/864204276872, その11549/43/864204276863

    OPAC

  • 愛知工業大学 附属図書館図

    [その1]549.8||H001297423, その2549.8||H001302041, その3549.8||H001357979, その4549.8||H001378595, その5549.8||H001469949, その6549.8||H001469964, その7549.8||H001469923, その12549.8||H002909646

    OPAC

  • 会津大学 情報センター (附属図書館)図

    [その1]549/H/26, その2549/H/28, その3549/H/30, その4549/H/32, その5549/H/34, その6549/H/36, その7549/H/38, その8549/H/40, その9549/H/41

    OPAC

  • 青森公立大学 図書館図

    その10549/N87/100101000744373

    OPAC

  • 青山学院大学 万代記念図書館(相模原分館)

    [その1]779205684, その2779205686, その3779205688, その4779205690, その5880302294, その6880302296, その7880302298, その8880302300, その9880302301, その10880302302, その11880302303, その12880302304, その13880302305, その14880302306

    OPAC

  • 秋田県立大学 附属図書館 本荘キャンパス図書館

    [その1]549:N87:2610105739, その2549:N87:2810105741, その3549:N87:3010105743, その4549:N87:3210105745, その5549:N87:3410105747, その6549:N87:3610105749, その7549:N87:3810105751, その8549:N87:4010105753, その9549:N87:4100125670, その10549:N87:4200125671, その11549:N87:4300125672, その12549:N87:4400125673, その13549:N87:4500125674, その14549:N87:4610105759

    OPAC

  • 秋田大学 附属図書館

    [その1]549.8||H29||v.26110302511, その2549.8||H29||v.28110302513, その3549.8||H29||v.30110302514, その4549.8||H29||v.32110302516, その5549.8||H29||v.34110302518, その6549.8||H29||v.36110302520, その7549.8||H29||v.38110302522, その8549.8||H29||v.40110302524, その9549.8||H29||v.41110302525, その10549.8||H29||v.42110302526, その11549.8||H29||v.43110302527, その12549.8||H29||v.44110302528, その13549.8||H29||v.45110302529, その14549.8||H29||v.46110302530

    OPAC

  • 旭川工業高等専門学校 図書室

    [その1]1081901, その21081903, その31081905, その51081909, その61081911, その71081913, その91081916, その101081917, その111081918, その131081920, その141081921, その121081919

    OPAC

  • 阿南工業高等専門学校 図書館

    [その1]549.8||H29||26000086766, その2549.8||H29||28000086768, その3549.8||H29||30000086770, その4549.8||H29||32000086772, その5549.8||H29||34000086774, その6549.8||H29||36000086776, その7549.8||H29||38000086778, その8549.8||H29||40000086780, その9549.8||H29||41000086781, その10549.8||H29||42000086782, その11549.8||H29||43000086783, その12549.8||H29||44000086784, その13549.8||H29||45000086785, その14549.8||H29||46000086786

    OPAC

  • 有明工業高等専門学校 図書館

    [その1]1110022317, その21110022305, その31110022142, その41110022154, その51110022166, その61110022178, その71110022181, その81110022193, その91110022204, その101110022216, その111110022228, その121110022231, その131110022243, その141110022255

    OPAC

  • 石巻専修大学 図書館開架

    その3549:H290010027522, その4549:H290010027548, その5549:H290010027563

    OPAC

  • 一関工業高等専門学校

    [その1]549.8||H29S012080, その2549.8||H29S012082, その3549.8||H29S012084, その4549.8||H29S012086, その5549.8||H29S012088, その6549.8||H29S012090, その7549.8||H29S012092, その8549.8||H29S012094, その9549.8||H29S012095, その10549.8||H29S012096, その11549.8||H29S012097, その12549.8||H29S012098, その13549.8||H29S012099, その14549.8||H29S012100

    OPAC

  • 茨城工業高等専門学校 学術総合情報センター 図書館図

    [その1]549.8/Ha830242, その2549.8/Ha830244, その3549.8/Ha830246, その4549.8/Ha830248, その5549.8/Ha830250, その6549.8/Ha830252, その7549.8/Ha830254, その8549.8/Ha830256, その9549.8/Ha830257, その10549.8/Ha830258, その11549.8/Ha830259, その12549.8/Ha830260, その13549.8/Ha830261, その14549.8/Ha830262

    OPAC

  • 茨城大学 附属図書館図

    [その1]549.8:Han:26110308248, その2549.8:Han:28110308250, その3549.8:Han:30110308252, その4549.8:Han:32110308254, その5549.8:Han:34110308256, その6549.8:Han:36110308258, その7549.8:Han:38110308260, その8549.8:Han:40110308262, その9549.8:Han:41110308263, その10549.8:Han:42110308264, その11549.8:Han:43110308265, その12549.8:Han:44110308266, その13549.8:Han:45110308267, その14549.8:Han:46110308268

    OPAC

  • 岩手県立大学 メディアセンターメ

    [その1]549:ハ:26301492666, その2549:ハ:28301492682, その3549:ハ:30301492708, その4549:ハ:32301492724, その5549:ハ:34301492740, その6549:ハ:36301492765, その7549:ハ:38301492781, その8549:ハ:40301492807, その9549:ハ:41301492815, その10549:ハ:42301492823, その11549:ハ:43301492831, その12549:ハ:44301492849, その13549:ハ:45301492856, その14549:ハ:46301492864

    OPAC

  • 岩手大学 図書館

    [その1]428.85:H29:-260011791050, その2428.85:H29:-280011791076, その3428.85:H29:-300011791092, その4428.85:H29:-320011791118, その5428.85:H29:-340011791134, その6428.85:H29:-360011791159, その7428.85:H29:-380011791175, その8428.85:H29:-400011791191, その9428.85:H29:-410011791209, その10428.85:H29:-420011791217, その11428.85:H29:-430011791225, その12428.85:H29:-440011791233, その13428.85:H29:-450011791241, その14428.85:H29:-460011791258

    OPAC

  • 宇部工業高等専門学校 図書館

    [その1]549.8||||K03176088897, その2549.8||||K03178088899, その3549.8||||K03180088901, その4548||||K03183088904, その5549||||K03186088907, その6549||||K03184088905, その7549||||K03188088909, その9549||||K03192088913, その10549||||K03193088914, その11549||||K03194088915, その12549||||K03195088916, その13549||||K03191088912, その14549||||K03190088911

    OPAC

  • 愛媛大学 図書館図

    その6549.8/HA/3619408331

    OPAC

  • 大分大学 学術情報拠点(図書館)

    [その1]549||NJ8||2611299592, その2549||NJ8||2811299594, その3549||NJ8||3011299596, その4549||NJ8||3211299598, その5549||NJ8||3411299600, その6549||NJ8||3611299602, その7549||NJ8||3811299604, その8549||NJ8||4011299606, その9549||NJ8||4111299607, その10549||NJ8||4211299608, その11549||NJ8||4311299609, その12549||NJ8||4411299610, その13549||NJ8||4511299611, その14549||NJ8||4611299612

    OPAC

  • 大阪公立大学 杉本図書館図書館

    [その1]N549.7//H1//26A-182032, その2N549.7//H1//2811700007542, その3N549.7//H1//3011700106484, その4N549.7//H1//3211700141358, その5N549.7//H1//3411700221150, その6N549.7//H1//3611700236141, その7549.7//N87//049011700304907, その8549.7//N87//714811700371484, その9549.7//N87//638011700463802, その10549.7//N87//272611700527267, その11549.7//N87//237811700623785, その13549.7//N87//984211700898429, その14549.7//N87//008611701000868, その12 CLN:549.7//N87//2726 RGTN:11700527267549.7//N87//397411700739748

    OPAC

  • 大阪公立大学 中百舌鳥図書館

    [その1]9000142619, その29000141805, その31000797136, その41000918511, その51000924121, その61000885415, その72010002064, その82010002066, その92010003130, その102010003131, その112010004335, その122010004332, その132010005122, その142010005523

    OPAC

  • 大阪産業大学 綜合図書館

    [その1]549.8/HNI01888650, その2549.8/HNI01983758, その3549.8/HNI02128254, その4549.8/HNI02186047, その5549.8/HNI02514784, その6549.8/HNI02598332, その7549.8/HNI02709905

    OPAC

  • 大阪大学 附属図書館 総合図書館

    [その1]10301002712, その210301002738, その310301002753, その410301002779, その510301002795, その610301002811, その710301002837, その810301002852, その910301002860, その1010301002878, その1110301002886, その1210301002894, その1310301002902, その1410301002910

    OPAC

  • 大阪大学 附属図書館 理工学図書館

    [その1]08725039765, その208925047824, その308925040704, その409025032393, その509125026048, その612500009662, その712500027466, その812500040303, その912500051854, その1012500065144, その1112500074179, その1212500080416, その1312500091934, その1412500105304

    OPAC

  • 大阪電気通信大学 図書館

    [その1]/549.8/H9/26311807, その2/549.8/H9/28311809, その3/549.8/H9/30311811, その4/549.8/H9/32311813, その5/549.8/H9/34311815, その6/549.8/H9/36311817, その7/549.8/H/38352322, その8/549.8/H9/40311818, その9/549.8/H9/41311819, その10/549.8/H/42352324, その11/549.8/H/43274736, その12/549.8/H/44352325, その13/549.8/H/45352326, その14/549.8/H/46324411

    OPAC

  • 岡山大学 図書館附属図

    [その1]016000325273, その2016000325275, その3016000325277, その4016000325279, その5016000325281, その6016000325283, その7016000325285, その8549.8/H016000325287, その9016000325288, その10016000325289, その11016000325290, その12016000325291, その13016000325292, その14016000325293

    OPAC

  • 岡山理科大学 図書館図

    その5100157540, その10100214863, その11100225762, その12100234887

    OPAC

  • 沖縄国際大学 図書館

    [その1]549/H-29/2600314015, その2549/H-29/2800314017, その3549/H-29/3000314019, その4549/H-29/3200314021, その5549/H-29/3400314023, その6549/H-29/3600314025, その7549/H-29/3800314027, その8549/H-29/4000314029, その9549/H-29/4100314030, その10549/H-29/4200314031, その11549/H-29/4300314032, その12549/H-29/4400314033, その13549/H-29/4500314034, その14549/H-29/4600314035

    OPAC

  • 小山工業高等専門学校 図書館

    [その1]1068610, その21068612, その31068614, その41068616, その51068618, その61068620, その71068622, その81068624, その91068625, その101068626, その111068627, その121068628, その131068629, その141068630

    OPAC

  • 香川大学 図書館 創造工学部分館

    [その1]3210009902, その23210009904, その33210009906, その43210009908, その53210009910, その63210009912, その73210009944, その83210009946, その93210009947, その103210009948, その113210009949, その123210009950, その133210009951, その143210009952

    OPAC

  • 鹿児島工業高等専門学校 図書館

    [その1]549||ニ||1082578, その2549||ニ||2082580, その3549||ニ||3082582, その4549||ニ||4082584, その5549||ニ||5082586, その6549||ニ||6082588, その7549||ニ||7082590, その8549||ニ||8082592, その9549||ニ||9082593, その10549||ニ||10082594, その11549||ニ||11082595, その12549||ニ082596, その13549||ニ||13082597, その14549||ニ||14082598

    OPAC

  • 鹿児島大学 附属図書館

    [その1]549.8/H29/2611187039042, その2549/H29/2811189038497, その4549.8/H29/3211190041560, その9549/H29/4111196019356, その10549/H29/4211196019368, その11549/H29/4311197034982, その12549/H29/4411103020951, その13549/H29/4511103020963, その14549/H29/4611103020975

    OPAC

  • 神奈川工科大学 附属図書館

    その2549.8||H||2811113629, その3549.8||H||3011113631, その5549.8||H||3411095314, その6549.8||H||3611098173, その7549.8||H||3811100394, その8549.8||H||4011109731, その9549.8||H||4111109732, その10549.8||H||4211113632, その11549.8||H||4311112133, その12549.8||H||4411117498, その45549.8||H||4511117838

    OPAC

  • 神奈川大学 図書館

    [その1]BB8902236, その2BB8902238, その3BB9002275, その4BB9006758, その5BB9110152, その6BB9209189, その7BB9411375, その8BB9411376, その9BB199512024, その10BB199607691, その11BB199704842, その12BB199804430, その13BB199909326, その14BB200004466

    OPAC

  • 神奈川大学 平塚図書館

    [その1]HB200304049, その2HB200304042, その3HB200304044, その4HB200304035, その5HB200304041, その6HB200304037, その7HB200304047, その8HB200304050, その9HB200304034, その10HB200304048, その11HB200304046, その12HB200304051, その13HB200304052, その14HB200304053

    OPAC

  • 金沢大学 附属図書館中央図開架

    その9549.8:H236:410300-12020-6

    OPAC

  • 金沢大学 附属図書館自然図一般図書

    [その1]549.8:H236:260300-12005-2, その2549.8:H236:280300-12007-9, その3549.8:H236:300300-12009-5, その4549.8:H236:320300-12011-7, その5549.8:H236:340300-12013-3, その6549.8:H236:360300-12015-X, その7549.8:H236:380300-12017-6, その8549.8:H236:400300-12019-2, その9549.8:H236:410300-12020-6, その10549.8:H236:420300-12021-4, その11549.8:H236:430300-12022-2, その12549.8:H236:440300-10921-0, その13549.8:H236:450300-10922-9, その14549.8:H236:460300-10923-7

    OPAC

  • 関西学院大学 図書館三田

    [その1]624.9:1166:260003515012, その2624.9:1166:280003515038, その3624.9:1166:300003515053, その4624.9:1166:320003515079, その5624.9:1166:340003515095, その6624.9:1166:360003515111, その7624.9:1166:380003515137, その8624.9:1166:400003515152, その9624.9:1166:410003515160, その10624.9:1166:420003515178, その11624.9:1166:430003515186, その12624.9:1166:440003515194, その13624.9:1166:450003515202, その14624.9:1166:460003515210

    OPAC

  • 学習院大学 図書館図

    その10547/203/420100824980, [その1]547/203/260100824964, その2547/203/280100824966, その3547/203/300100824968, その4547/203/320100824970, その5547/203/340100824972, その6547/203/360100824974, その7547/203/380100824976, その8547/203/400100824978, その9547/203/410100824979, その11547/203/430100824981, その12547/203/440100824982, その13547/203/450100824983, その14547/203/460100824984

    OPAC

  • 木更津工業高等専門学校

    [その1]549.8O64179, その2549.8O64176, その3549.8O64168, その4549.8O64166, その14549.8O64183

    OPAC

  • 北九州工業高等専門学校 図書館

    [その1]000650069, その2000650085, その3000650101, その4000650127, その5000650143, その6000650168, その7000650184, その8000650200, その9000650218, その10000650226, その11000650234, その12000650242, その13000650259, その14000650267

    OPAC

  • 北九州学術研究都市学術情報センター北九州図書

    [その1]549.8||H29000054347, その2549.8||H29000059705, その3549.8||H29000059707, その4549.8||H29000059709, その5549.8||H29000059711, その6549.8||H29000059713, その7549.8||H29000059715, その8549.8||H29000059717, その9549.8||H29000059718, その10549.8||H29000059719, その11549.8||H29000059720, その12549.8||H29000059721, その13549.8||H29000059722, その14549.8||H29000059723

    OPAC

  • 北見工業大学 図書館図

    [その1]549.808||H2900001417948, その2549.808||H2900001417961, その3549.808||H2900001417985, その4549.808||H2900001418004, その5549.808||H2900001418028, その6549.808||H2900001418041, その7549.808||H2900001418065, その8549.808||H2900001418089, その9549.808||H2900001418090, その10549.808||H2900001418105, その11549.808||H2900001418117, その12549.808||H2900001418129, その13549.808||H2900001418130, その14549.808||H2900001418142

    OPAC

  • 九州大学 理系図書館

    [その1]549.8/H 29003112003010398, その2549.8/H 29003112003010347, その3549.8/H 29003112003010323, その4549.8/H 29003112003010490, その5549.8/H 29003112003010451, その6549.8/H 29003112003010436, その7549.8/H 29003112003010513, その8549.8/H 29003112003010540, その9549.8/H 29003112003010424, その10549.8/H 29031112006604310, その11549.8/H 29003112003010475, その12549.8/H 29003112003010487, その13549.8/H 29003112003010412, その14549.8/H 29003112003010400

    OPAC

  • 九州産業大学 図書館

    その6104846241, その8104846258, その14549.8/H 29/2-4610659306

    OPAC

  • 京都教育大学 附属図書館

    [その1]549.8||H 2990105107

    OPAC

  • 京都工芸繊維大学 附属図書館図

    [その1]549.8||H6||269200310977, その2549.8||H6||289200310990, その3549.8||H6||309200311012, その4549.8||H6||329200311034, その5549.8||H6||349200311056, その6549.8||H6||369200311078, その7549.8||H6||389200311091, その8549.8||H6||409200311114, その9549.8||H6||419200311125, その10549.8||H6||429200311136, その11549.8||H6||439200311147, その12549.8||H6||449200311158, その13549.8||H6||459200311160, その14549.8||H6||469200311171

    OPAC

  • 京都産業大学 図書館

    [その1]549.801029761/B1, その2549.801029763/B1, その3549.801029765/B1, その4549.801029767/B1, その5549.801029769/B1, その6549.801029771/B1, その7549.801029773/B1, その8549.801029775/B1, その9549.801029776/B1, その10549.801029777/B1, その11549.801029778/B1, その12549.801029779/B1, その13549.801029780/B1, その14549.801029781/B1

    OPAC

  • 京都大学 工学部南

    その14DA||1700035683

    OPAC

  • 京都大学 大学院 エネルギー科学研究科

    [その1]549.8||NIS98047271, その2549.8||NIS98047272, その3549.8||NIS98047273, その4549.8||NIS98047274, その5549.8||NIS98047275, その6549.8||NIS98047276, その7549.8||NIS98047277, その8549.8||NIS98047278, その9549.8||NIS98047270, その10549.8||NIS200019911598, その11549.8||NIS98047269, その12549.8||NIS98047268

    OPAC

  • 京都大学 吉田南総合図書館図

    [その1]740||||53387053824, その2740||||53388051692, その3740||||53389036368, その4740||||53390064137, その5740||53391044241, その6740||||53392046242, その7740||||53393040020, その8740||53394021746, その9740||53395023824, その10740||||53396042000, その11740||||53397019321, その12740||53398031875, その13740||53399042029, その14740||53300016995

    OPAC

  • 杏林大学 医学図書館医図

    その9549.8:H29:410010083715

    OPAC

  • 近畿大学 工学部図書館図書館

    その6549||H29||3651008308, その12549||H29||4451018330, その13549||H29||4551020139

    OPAC

  • 近畿大学 中央図書館中図

    その506001068, その606001070, その706001072

    OPAC

  • 金城学院大学 図書館

    38巻549/H29/(38)0300940

    OPAC

  • 岐阜大学 図書館

    [その1]549.8||Han112281630, その2549.8||Han112281664, その3549.8||Han112281672, その4549.8||Han112281699, その5549.8||Han112281711, その6549.8||Han112281737, その7549.8||Han112281753, その8549.8||Han112281770, その9549.8||Han112281788, その10549.8||Han112281796, その11549.8||Han112281800, その12549.8||Han112281818, その13549.8||Han112281826, その14549.8||Han112281834

    OPAC

  • 釧路工業高等専門学校 図書館

    [その1]E9.8||H2||2610078279, その2E9.8||H2||2810078281, その3E9.8||H2||3010078283, その4E9.8||H2||3210078285, その5E9.8||H2||3410078287, その6E9.8||H2||3610078289, その7E9.8||H2||3810078291, その8E9.8||H2||4010078283, その9E9.8||H2||4110078294, その10E9.8||H2||4210078295, その11E9.8||H2||4310078296, その12E9.8||H2||4410078297, その13E9.8||H2||4510078298, その14E9.8||H2||4610078299

    OPAC

  • 熊本学園大学 図書館

    [その1]006020733, その2006020757, その3006020772, その4006020796, その5006020810, その6006020834, その7006020858, その8006020873, その9006020885, その10006020897, その11006020908, その12006020911, その13006020923, その14006020935

    OPAC

  • 熊本高等専門学校 熊本キャンパス 図書館

    その2549.8||H||2817000447, その3549.8||H||3017000235, その4549.8||H||3217000241, その5549.8||H||3417000234, その6549.8||H||3617000445, その7549.8||H||3817000479, その8549.8||H||4017000448, その9549.8||H||4117000236, その10549.8||H||4217000480, その11549.8||H||4317000482, その12549.8||H||4417000478, その13549.8||H||4517000451, その14549.8||H||4617000446, その1549.8||H||2617000452

    OPAC

  • 呉工業高等専門学校 図書館

    [その1]549.7/C-53/1100075691, その2549.7/C-53/1200075692, その3549.7/C-53/1300075693, その4549.7/C-53/1400075694, その5549.7/C-53/1500075695, その6549.7/C-53/1600075696, その7549.7/C-53/1700075697, その8549.7/C-53/1800075698, その9549.7/C-53/1900075699, その10549.7/C-53/2000075700, その11549.7/C-53/2100075701, その12549.7/C-53/2200075702, その13549.7/C-53/2300075703, その14549.7/C-53/2400075704

    OPAC

  • 群馬大学 総合情報メディアセンター 理工学図書館図書館

    [その1]549.8:H294:26209201597, その2549.8:H294:28209201599, その3549.8:H294:30209201601, その4549.8:H294:

    OPAC

  • 群馬大学 総合情報メディアセンター 理工学図書館図書館

    その4549.8:H294:32220910092, その5549.8:H294:34220910093, その6549.8:H294:36220910094, その7549.8:H294:38220910095, その8549.8:H294:40220910096, その9549.8:H294:41220910097, その10549.8:H294:42220910098, その11549.8:H294:43220910099, その12549.8:H294:44220910100, その13549.8:H294:45220910101, その14549.8:H294:46220910102

    OPAC

  • 高知工科大学 附属情報図書館

    その3549.8||H29||3000009334, その4549.8||H29||3200009335, その5549.8||H29||3400009336, その6549.8||H29||3600009337, その7549.8||H29||3800009338, その9549.8||H29||4100009341, その10549.8||H29||4200012871, その13549.8||H29||4500053910, その14549.8||H29||32000093351

    OPAC

  • 高知工業高等専門学校 図書館

    [その1]W66824, その2W66826, その3W66828, その4W66830, その5W66832, その6W66834, その7W66836, その8W66838, その9W66839, その10W66840, その11W66841, その12W66842, その13W66843, その14W66844

    OPAC

  • 高知大学 学術情報基盤図書館 中央館

    [その1]20038372

    OPAC

  • 神戸芸術工科大学 情報図書館

    [その1]092983, その2092985, その3092987, その4092989, その5092991, その6092993, その7092995, その8092997, その9092998, その10092999, その11093000, その12093001, その13093002, その14093003

    OPAC

  • 神戸大学 附属図書館 自然科学系図書館

    [その1]549-7-4//26030008704434, その2549-7-4//28030008805515, その3549-7-4//30030308900944, その4549-7-4//32030309002620, その5549-7-4//34030309102405, その6549-7-4//36030309202122, その7549-7-4//38030309301571, その8549-7-4//40030309402948, その9549-7-4//41030309502667, その10549-7-4//42030009608010, その11549-7-4//43030009708505, その12549-7-4//44030009907193, その13549-7-4//45030009907192, その14549-7-4//46030200009478

    OPAC

  • 公立千歳科学技術大学 図書館

    その4549||H32000022939, その5549||H||34000022954, その6549||H||36000022970, その7549||H||38000022996, その8549||H||40000023010, その9549||H||41000023028

    OPAC

  • 公立はこだて未来大学 情報ライブラリー

    その6549.8||Ha||36000003097

    OPAC

  • 国士舘大学 図書館・情報メディアセンター本館

    [その1]428.85||H 29||26398405, その2428.85||H 29||28412549, その3428.85||H 29||30430939, その4428.85||H 29||32447516, その5428.85||H 29||34471259, その6428.85||H 29||36485331, その7428.85||H 29||38495879, その8428.85||H 29||40517433, その9428.85||H 29||41539117, その10428.85||H 29||42539589, その11428.85||H 29||43540395

    OPAC

  • 埼玉大学 図書館機械

    549:H:26W707110X

    OPAC

  • 佐賀大学 附属図書館図

    [その1]549.7-H 29-26117154992, その2549.7-H 29-28118903987, その3549.7-H 29-30118905997, その4549.7-H 29-32119201363, その5549.7-H 29-34119201365, その6549.7-H 29-36119204090, その7549.7-H 29-38119301937, その8549.7-H 29-40119502654, その9549.7-H 29-41119601498, その10549.7-H 29-42119701294, その11549.7-H 29-43119701295, その12549.7-H 29-44119800723, その13549.7-H 29-45119902816, その14549.7-H 29-46110001439

    OPAC

  • 山陽小野田市立山口東京理科大学 図書館図

    その11549||H 29||4398022679, [その1]549||H 29||2698022664, その2549||H 29||2896647958, その3549||H 29||3098022660, その4549||H 29||3298022668, その5549||H 29||3498022670, その6549||H 29||3698022672, その7549||H29-3898022674, その9549||H29-4198022677, その10549||H29-4298022678, その12549||H29-4498022681, その13549||H29-4598022682, その14549||H29-4698022683

    OPAC

  • 滋賀県立大学 図書情報センター

    [その1]549.8/ハン/261059623, その2549.8/ハン/281059625, その3549.8/ハン/301059627, その4549.8/ハン/321059629, その5549.8/ハン/341059631, その6549.8/ハン/361059633, その7549.8/ハン/381059635, その8549.8/ハン/401059637, その9549.8/ハン/411059638, その10549.8/ハン/421059639, その11549.8/ハン/431059640, その12549.8/ハン/441059641, その13549.8/ハン/451059642, その14549.8/ハン/461059643

    OPAC

  • 静岡大学 附属図書館 浜松分館浜図

    [その1]549.8/H29/268204502135, その2549.8/H29/288204502150, その3549.8/H29/308204502176, その4549.8/H29/328204502192, その5549.8/H29/348204502218, その6549.8/H29/368204502234, その7549.8/H29/388204502259, その8549.8/H29/408204502275, その9549.8/H29/418203504546, その10549.8/H29/428203504553, その11549.8/H29/438203504561, その12549.8/H29/448203504579, その13549.8/H29/458203504587, その14549.8/H29/468203504595

    OPAC

  • 静岡理工科大学 附属図書館

    [その1]549.8||H29||2609602474, その2549.8||H29||2809602476, その3549||H29||3009117179, その4549.8||H29||3209602478, その5549.8||N87||3409311505, その6549.8||H29||3609602481, その7549.8||H29||3809602483, その8549.8||N87||4009402974, その10549.8||N87||4209700668, その11549.8||H29||4309701700, その16549||H29||4610001812

    OPAC

  • 島根大学 附属図書館

    OPAC

  • 淑徳大学 附属図書館 千葉図書館

    OPAC

  • 湘南工科大学 附属図書館

    [その1]73092, その275777, その9104649, その12114415, その14104886

    OPAC

  • 信州大学 附属図書館 中央図書館図

    [その1]549.8:H 29:260025266024, その2549.8:H 29:280025266040, その3549.8:H 29:300025266065, その4549.8:H 29:320025266081, その5549.8:H 29:340025266107, その6549.8:H 29:360025266123, その7549.8:H 29:380025266149, その8549.8:H 29:400025266164, その9549.8:H 29:410025266172, その10549.8:H 29:420025266180, その11549.8:H 29:430025266198, その12549.8:H 29:440025266206, その13549.8:H 29:450025266214, その14549.8:H 29:460025266222

    OPAC

  • 上智大学 図書館中央

    [その1]549:H295:v.26870389960, その2549:H295:v.28880201614, その3549:H295:v.30890247929, その4549:H295:v.32000123671, その5549:H295:v.34000450632, その6549:H295:v.36000951735, その7549:H295:v.38001225244, その8549:H295:v.40001633575, その9549:H295:v.41001945272, その10549:H295:v.42002193708, その11549:H295:v.43002503352, その12549:H295:v.44002722629, その13549:H295:v.45003885646, その14549:H295:v.46003033669

    OPAC

  • 聖徳大学 川並弘昭記念図書館図

    [その1]549.8/H29/026T265182, その2549.8/H29/028T265184, その3549.8/H29/030T265186, その4549.8/H29/032T265188, その5549.8/H29/034T265190, その6549.8/H29/036T265192, その7549.8/H29/038T265194, その8549.8/H29/040T265196, その9549.8/H29/041T265197, その10549.8/H29/042T265198, その11549.8/H29/043T265199, その12549.8/H29/044T265200, その13549.8/H29/045T265201, その14549.8/H29/046T265202

    OPAC

  • 摂南大学 図書館本館

    その7549.8||H||3829413613, その8549.8||H||4029413615

    OPAC

  • 仙台高等専門学校 名取キャンパス 図書館

    [その1]020030579, その3020030583, その4020030585, その5020030587, その6020030589, その7020030591, その8020030593, その9020030594, その10020030595, その11020030596, その12020030597, その13020030598, その14020030599

    OPAC

  • 仙台高等専門学校 広瀬キャンパス 図書館

    [その1]549.8||H29||2664929, その2549.8||H29||2864931, その3549.8||H29||3064933, その4549.8||H29||3264935, その5549.8||H29||3464937, その6549.8||H29||3664939, その7549.8||H29||3864941, その8549.8||H29||4064943, その9549.8||H29||4164944, その10549.8||H29||4264945, その11549.8||H29||4364946, その12549.8||H29||4464947, その13549.8||H29||4564948, その14549.8||H29||4664949

    OPAC

  • 崇城大学 図書館

    [その1]549.7||N1050043

    OPAC

  • 拓殖大学 八王子図書館

    [その1]549.8||26||44T0292377*, その2549.8||28||44T0292381*, その3549.8||30||44T0292380*, その4549.8||32||44T0292383*, その5549.8||34||44T0292385*, その6549.8||36||44T0292387*, その7549.8||38||44T0292389*, その9549.8||41||4400510654, その10549.8||42||4400523505, その11549.8||43||4400538622, その12549.8||44||4400545358, その13549.8||45||4400558574, その14549.8||46||4400581494

    OPAC

  • 大同大学 図書館

    その8001624857, その14001409770

    OPAC

  • 千葉大学 附属図書館図

    [その1]549.8||H290009012131, その2549.8||H290009012133, その3549.8||H290009012135, その4549.8||H290009012137, その5549.8||H290009200004, その6549.8||H290009308173, その7549.8||H290009308175, その8549.8||H290009607752, その9549.8||H290009607753, その10549.8||H292000500535, その11549.8||H290009883902, その12549.8||H290009883903, その13549.8||H292000500536, その14549.8||H292000500537

    OPAC

  • 中部大学 附属三浦記念図書館図

    その11549.808||H 29||43N287026A

    OPAC

  • 筑波大学 附属図書館 中央図書館

    その3549.8-H29890056658, その4549.8-H29-32100030147291, その510092001202, その6549.8-H29920056689, その7549.8-N87940043805, その8549.8-H29-40100950155987, その9549.8-H29-41100960092128, その11549.8-H29-43100030147314, その12549.8-H29-44100030147321, その13549.8-H29-45100030147338, その14549.8-H29-46100000033951

    OPAC

  • 津山工業高等専門学校 図書館

    [その1]549.8||N110000040, その2549.8||N110000042, その3549.8||N110000044, その4549.8||N110000046, その5549.8||N110000048, その6549.8||N110000050, その7549.8||N110000052, その8549.8||N110000054, その9549.8||N110000055, その10549.8||N110000056, その11549.8||N110000057, その12549.8||N110000058, その13549.8||N110000059, その14549.8||N110000060

    OPAC

  • 鶴岡工業高等専門学校 図書広報室(図書館)

    その8549.8||H8||40000000072342, その9549.8||H8||41000000072343, その10549.8||H8||42000000072344, その11549.8||H8||43000000072345, その12549.8||H8||44000000072346, その13549.8||H8||45000000072347, その14549.8||H8||46000000072348, 549.8||H8||26000000072328, その2549.8||H8||28000000072330, その3549.8||H8||30000000072332, その4549.8||H8||32000000072334, その5549.8||H8||34000000072336, その6549.8||H8||36000000072338, その7549.8||H8||38000000072340

    OPAC

  • 帝京科学大学 附属図書館 千住図書館

    [その1]549.8/N87/268901063233, その2549.8/N87/289001267302, その4549.8/N87/329101327618, その5549.8/N87/349201369122

    OPAC

  • 帝京大学 宇都宮キャンパス 図書館

    その3549.8||H29||3010017301, その4549.8||H29||3210017302, その5549.8||H29||3410017303, その8549.8||H29||4010047335, その11549.8||H29||4310056327, その12549.8||H29||4410058907, その13549.8||H29||4510058908

    OPAC

  • 電気通信大学 附属図書館図庫

    [その1]549.7||H29||262218802845

    OPAC

  • 電気通信大学 附属図書館開架

    [その1]549.7||H29||262218804242, その2549.7||H29||282219203388, その3549.7||H29||302219002177, その4549.7||H29||322219203390, その5549.7||H29||342219203392, その6549.7||H29||362219305309, その7549.7||H29||382219405314, その8549.7||H29||402219405316, その9549.7||H29||412219506242, その10549.7||H29||422219606873, その11549.7||H29||432219705691, その12549.7||H29||442219901958, その13549.7||H29||452219908764, その14549.7||H29||462000106710

    OPAC

  • 東海大学 付属図書館12

    [その1]549.8/H/2801122914, その3549.8/H/3001175534, その4549.8/H/3201226378, その6549.8/H/3601357749, その7549.8/H/3801395245, その8549.8/H/4001839980, その11549.8/H/4301946586, その14549.8||H||4602014161

    OPAC

  • 東京科学大学 大岡山図書館

    [その1]549.8/H/26115351788, その4549.8/H/32117022080, その5549.8/H/34117022102, その6549.8/H/36117131599, その7549.8/H/38117022129, その8549.8/H/40117022137, その9549.8/H/41117022145, その10549.8/H/42117022153, その11549.8/H/43117022161, その12549.8/H/4411702217X, その13549.8/H/45117022188, その14549.8/H/46117022196, 2549.8/H/28115670050, 3549.8/H/30115853147

    OPAC

  • 東京科学大学 すずかけ台図書館

    [その1]549.8/H/26217023416, その2549.8/H/28217023432, その3549.8/H/30217023459, その4549.8/H/32217023475, その5549.8/H/34217023491, その6549.8/H/36217023513, その7549.8/H/3821702353X, その8549.8/H/40217023556, その9549.8/H/41217023564, その10549.8/H/42217023572, その11549.8/H/43217023580, その12549.8/H/44217023599, その13549.8/H/45217023602, その14549.8/H/46217023610

    OPAC

  • 東京工業高等専門学校 図書館

    [その1]0070455, その20070457, その30070459, その40070461, その50070463, その60070465, その70070467, その80070469, その90070470, その100070471, その110070472, その120070473, その130070474, その140070475

    OPAC

  • 東京大学 柏図書館開架

    [その1]549.8:H29:268410065315, その2549.8:H29:288410065331, その3549.8:H29:308410065356, その4549.8:H29:328410065372, その5549.8:H29:348410065398, その6549.8:H29:368410065414, その7549.8:H29:388410065430, その8549.8:H29:408410065455, その9549.8:H29:418410065463, その10549.8:H29:428410065471, その11549.8:H29:438410065489, その12549.8:H29:448410065497, その13549.8:H29:458410065505, その14549.8:H29:468410065513

    OPAC

  • 東京大学 工学部・工学系研究科図書

    [その1]549.8:H29:261000410918, その2549.8:H29:281010023230, その3549.8:H29:301010185666, その4549.8:H29:321010259321, その5549.8:H29:341010337754, その6549.8:H29:361010403176, その7549.8:H29:381010504783, その8549.8:H29:401010586020, その9549.8:H29:411010649505, その10549.8:H29:421010734547, その11549.8:H29:431010836706, その12549.8:H29:441010910584, その13549.8:H29:451010968442, その14549.8:H29:461011024120

    OPAC

  • 東京大学 駒場図書館駒場図

    [その1]549:H29:263008102448, その2549:H29:283010040990, その3549:H29:303010099608, その4549:H29:323010161291, その5549:H29:343010212094, その6549:H29:363010281792, その7549:H29:383010332264, その8549:H29:403010358756, その9549:H29:413010419632, その10549:H29:423010466112, その11549:H29:433010515082, その12549:H29:443010556847, その13549:H29:453010634016, その14549:H29:463010673733

    OPAC

  • 東京大学 生産技術研究所 図書室図書

    [その1]G-36:3:(26)6711138500, その2G-36:3:(28)6711138526, その3G-36:3:(30)6711138542, その4G-36:3:(32)6711138567, その5G-36:3:(34)6711138583, その6G-36:3:(36)6711138609, その7G-36:3:(38)6711138625, その8G-36:3:(40)6711138641, その9G-36:3:(41)6711138658, その10G-36:3:(42)6711138666, その11G-36:3:(43)6711138674, その12G-36:3:(44)6711138682, その13G-36:3:(45)6711138690, その14G-36:3:(46)6711138708

    OPAC

  • 東京大学 総合図書館

    [その1]549.8:H29:260010147932, その2549.8:H29:280010687168, その3549.8:H29:300010592475, その4549.8:H29:320010716728, その5549.8:H29:340012322954, その6549.8:H29:360012322970, その7549.8:H29:380012322996, その8549.8:H29:400012323010, その9549.8:H29:410012323028, その10549.8:H29:420011494044, その11549.8:H29:430011668134, その12549.8:H29:440011789021, その13549.8:H29:450012323036, その14549.8:H29:460012045589

    OPAC

  • 東京大学 物性研究所 図書室図書室

    [その1]428.41:H6:267250000168, その2428.41:H6:287250000184, その3428.41:H6:307250000200, その4428.41:H6:327250000226, その5428.41:H6:347250000242, その6428.41:H6:367250000267, その7428.41:H6:387250000283, その8428.41:H6:407250000309, その9428.41:H6:417250000317, その10428.41:H6:427250000325, その11428.41:H6:437250000333, その12428.41:H6:447250000341, その13428.41:H6:457250000358, その14428.41:H6:467250000366

    OPAC

  • 東京電機大学 総合メディアセンター 千住センター

    その9549.8/H-7/1-410095013556, その10549.8/H-7/1-420096012885, その11549.8/H-7/1-430097013720, その12549.8/H-7/1-440098008260, その13549.8/H-7/1-450099014587

    OPAC

  • 東京都立大学 図書館 日野館図

    [その1]549.8/H/26102032224, その2549.8/H/28102032232, その3549.8/H/30102032240, その4549.8/H/32102032257, その5549.8/H/34102032265, その6549.8/H/36102032273, その7549.8/H/38102032281, その8549.8/H/40102032299, その9549.8/H/41102032307, その10549.8/H/42102032315, その11549.8/H/43102032323, その12549.8/H/44102032331, その13549.8/H/45102032349, その14549.8/H/46102032356

    OPAC

  • 東京農工大学 小金井図書館

    [その1]549.8/HK2650099254, その2549.8/HK2850099230, その3549.8/HK3050194787, その4549.8/HK3250099215, その5549.8/HK3450099203, その6549.8/HK3660011173, その7549.8/HK3860030464, その8549.8/HK4060059582, その9549/HK4160081462, その10549/HK4260414154, その11549/HK4360414166, その12549.8/HK4460149746, その13549/HK4560414181, その14549/HK4660414193

    OPAC

  • 東京理科大学 葛飾図書館葛図

    その4549.8||H 29||3280007851

    OPAC

  • 東北工業大学 附属図書館

    [その1]549.8||H||261872020, その2549.8||H||281882192, その3549.8||H||301891800, その4549.8||H||321902300, その5549.8||H||341911400, その6549.8||H||361922059, その7549.8||H||381931433, その8549.8||H||401942253, その9549.8||H||411951885, その10549.8||H||421961491, その11549.8||H||431971367, その12549.8||H||441980471, その13549.8||H||451991896, その14549.8||H||463001187

    OPAC

  • 東北文化学園大学 総合情報センター 図書館

    [その1]549.8/Nis/2600059330, その2549.8/Nis/2800059332, その3549.8/Nis/3000059334, その4549.8/Nis/3200059336, その5549.8/Nis/3400059338, その6549.8/Nis/3600059340, その7549.8/Nis/3800059342, その8549.8/Nis/4000059344, その9549.8/Nis/4100059345, その10549.8/Nis/4200059346, その11549.8/Nis/4300059347, その12549.8/Nis/4400059348, その13549.8/Nis/4500059349, その14549.8/Nis/4600059350

    OPAC

  • 東洋大学 附属図書館 川越図書館

    [その1]549.8:H-3:1-260306410929, その2549.8:H-3:1-280306403320, その3549.8:H-3:1-300306403304, その4549.8:H:1-320306403288, その5549.8:H-3:1-340306435439, その6549.8:H-3:1-360306446386, その7549.8:H-3:1-380306480666, その9549.8:H-3:1-410310008495, その10549.8:H-3:1-420310033204, その11549.8:H-3:1-430310053897, その12549.8:H-3:1-440310069455, その13549.8:H-3:1-450310099700, その14549.8:H-3:1-460310122296

    OPAC

  • 徳島大学 附属図書館

    [その1]549.8||Ha||26203001052, その2549.8||Ha||28203001053, その3549.8||Ha||30203001054, その4549.8||Ha||32203001055, その5549.8||Ha||34203001056, その6549.8||Ha||36203001057, その7549.8||Ha||38203001058, その8549.8||Ha||40203001059, その9549.8||Ha||41203001060, その10549.8||Ha||42203001061, その11549.8||Ha||43203001062, その12549.8||Ha||44203001063, その13549.8||Ha||45203001064, その14549.8||Ha||46203001065

    OPAC

  • 徳島文理大学 高松駅キャンパス附属図書館香図

    [その1]549-Ha-264224117, その2549-Ha-284224119, その3549-Ha-304224120, その4549-Ha-324224123, その5549-Ha-344224125, その6549-Ha-364224127, その7549-Ha-384224129, その8549-Ha-404224131, その9549-Ha-414224132

    OPAC

  • 徳山工業高等専門学校 図書館

    [その1]549.8/H93/26030882, その2549.8/H93/28030884, その3549.8/H93/30030886, その4549.8/H93/32030888, その5549.8/H93/34030890, その6549.8/H93/36030892, その7549.8/H93/38030894, その8549.8/H93/40030896, その9549.8/H93/41030897, その10549.8/H93/42030898, その11549.8/H93/43030899

    OPAC

  • 鳥取大学 附属図書館図

    [その1]549.8:Han:(26)0010677656, その2549.8:Han:(28)0010677664, その3549.8:Han:(30)0010677672, その4549.8:Han:(32)0010677680, その5549.8:Han:(34)0010677698, その6549.8:Han:(36)0010677706, その7549.8:Han:(38)0010677714, その8549.8:Han:(40)0010677722, その9549.8:Han:(41)0010677730, その10549.8:Han:(42)0010677748, その11549.8:Han:(43)0010677755, その12549.8:Han:(44)0010677763, その13549.8:Han:(45)0010677771, その14549.8:Han:(46)0010677789

    OPAC

  • 苫小牧工業高等専門学校 図書館

    [その1]549.8||Han1099632, その2549.8||Han1099634, その3549.8||Han10996361099636, その4549.8||Han1099638, その5549.8||Han1099640, その6549.8||Han1099642, その7549.8||Han1099644, その8549.8||Han1099646, その9549.8||Han1099647, その10549.8||Han1099648, その11549.8||Han1099649, その12549.8||Han1099650, その13549.8||Han1099651, その14549.8||Han1099652

    OPAC

  • 富山県立大学 附属図書館 射水館

    [その1]101553691, その2101553709, その3101553725, その4101553741, その5101553766, その6101553782, その7101553808, その8101553824, その9101553832, その10101553840, その11101553857, その12101553865, その13101419166, その14101419174

    OPAC

  • 富山高等専門学校 図書館情報センター本郷

    [その1]1000585008, その21000585024, その31000585040, その41000585065, その51000585081, その61000585107, その71000585123, その81000585149, その91000585156, その101000585164, その111000585172, その121000585180, その131000585198, その141000585206

    OPAC

  • 富山大学 附属図書館工室

    [その1]549||H19||Ko=2651022721, その2549||H19||Ko=2851022723, その3549||H19||Ko=3051022725, その4549||H19||Ko=3251022727, その5549||H19||Ko=3451022729, その6549||H19||Ko=3651022731, その7549||H19||Ko=3851022733, その8549||H19||Ko=4051022735, その9549||H19||Ko=4151022736, その10549||H19||Ko=4231001382, その11549||H19||Ko=4351022737, その12549||H19||Ko=4451022738, その13549||H19||Ko=4551022739, その14549||H19||Ko=4651022740

    OPAC

  • 豊田工業高等専門学校 図書館

    [その1]549.8/N/260:0072121, その2549.8/N/280:0072123, その3549.8/N/300:0072125, その4549.8/N/320:0072127, その5549.8/N/340:0072129, その6549.8/N/360:0072131, その7549.8/N/380:0072133, その8549.8/N/400:0072135, その9549.8/N/410:0072136, その10549.8/N/420:0072137, その11549.8/N/430:0072138, その12549.8/N/440:0072139, その13549.8/N/450:0072140, その14549.8/N/460:0072141

    OPAC

  • 豊田工業大学 総合情報センター

    00059436, 00060267, 00058700, 00058001, 00057085, 00055920, 00043293, 00042323, 00041536, 00040735, 00038535, 00039501

    OPAC

  • 豊橋技術科学大学 附属図書館図

    [その1]549.8||HA||26900027444, その2549.8||HA||28900027461, その3549.8||HA||30900027487, その4549.8||HA||32920023690, その5549.8||HA||34920023711, その6549.8||HA||36920023738, その7549.8||HA||38930016793, その8549.8||HA||40940016630, その9549.8||HA||41950008176, その10549.8||HA||42960005102, その11549.8||HA||43970005989, その12549.8||HA||44980003466, その13549.8||HA||45990008282, その14549.8||HA||46000027171

    OPAC

  • 豊橋創造大学 附属図書館

    [その1]549.8||Ha||26T075836, その2549.8||Ha||28T075838, その3549.8||Ha||30T075840, その4549.8||Ha||32T075842, その5549.8||Ha||34T075844, その6549.8||Ha||36T075846, その7549.8||Ha||38T075848, その8549.8||Ha||40T075850, その9549.8||Ha||41T075851, その10549.8||Ha||42T075852, その11549.8||Ha||43T075853, その12549.8||Ha||44T075854, その13549.8||Ha||45T075855, その14549.8||Ha||46T075856

    OPAC

  • 同志社大学 図書館

    [その1]549.8;H8;26B;871003853Z/G;920004029/G;920006449, その2549.8;H8;28B;881005029Z/G;920006451, その3549.8;H8;30B;891005234Z/G;920006453, その4549.8;H8;32B;901007472Z/G;920006455, その5549.8;H8;34B;911006102Z/G;920006457, その6549.8;H8;36B;921004651Z/G;920006459, その7549.8;H8;38B;9310603470, その8549.8;H8;40L;9430041492, その9549.8;H8;41B;9510048005/L;0392033530, その10549.8;H8;42L;9630091982, その11549.8;H8;43L;9702078390, その12549.8;H8;44L;9802065342, その13549.8;H8;45L;9902025780, その14A549.8;H8;46L;0092012980

    OPAC

  • 独立行政法人国立高等専門学校機構 香川高等専門学校 詫間キャンパス 図書館

    [その1]549.8||H 29||26067763, その2549.8||H 29||28067765, その3549.8||H 29||30067767, その4549.8||H 29||32067769, その5549.8||H 29||34067771, その6549.8||H 29||36067773, その7549.8||H 29||38067775, その8549.8||H 29||40067777, その9549.8||H 29||41067778, その10549.8||H 29||42067779, その11549.8||H 29||43067780, その12549.8||H 29||44067781, その13549.8||H 29||45067782, その14549.8||H 29||46067783

    OPAC

  • 長岡技術科学大学 附属図書館

    その4549.8-H29-321050995

    OPAC

  • 長崎大学 附属図書館

    [その1]549.8||87||261501711, その2549.8||88||281501712, その3549.8||89||301501713, その4549.8||90||321501714, その5549.8||91||341501715, その6549.8||92||361501716, その7549.8||93||381501717, その8549.8||94||401501718, その9549.8||95||411501719, その10549.8||96||421501720, その11549.8||97||431501721, その12549.8||98||441501722, その13549.8||99||451501723, その14549.8||2000||461501724

    OPAC

  • 長野工業高等専門学校 図書館

    [その1]549.8||H 29||2620044523, その2549.8||H 29||2820044525, その3549.8||H 29||3020044527, その4549.8||H 29||3220044529, その5549.8||H 29||3420044531, その6549.8||H 29||3620044533, その7549.8||H 29||3820044535, その8549.8||H 29||4020044537, その9549.8||H 29||4120044538, その10549.8||H 29||4220044539, その11549.8||H 29||4320044540, その12549.8||H 29||4420044541, その13549.8||H 29||4520044542, その14549.8||H 29||4620044543

    OPAC

  • 名古屋工業大学 図書館

    [その1]549.8||H 291048990, その2549.8||H 291053151, その3549.8||H 291058167, その4549.8||H 29||3290104408, その6549.8||H 29||3692102292, その5549.8||H 29||3493100496, その6549.8||H 29||3692102292, その7549.8||H 29||3893102921, その8549.8||H 29||4094102831, その9549.8||H 29||4195103529, その10549.8||H 29||4296102948

    OPAC

  • 名古屋市立大学 総合情報センター 田辺通分館

    [その1]549.08||Ha||2630216559, その2549.08||Ha||2830216577, その3549.08||Ha||3030216595, その4549.08||Ha||3230216610, その5549.08||Ha||3430216639, その6549.08||Ha||3630216657, その7549.08||Ha||3830216675, その8549.08||Ha||4030216693, その9549.08||Ha||4130216700, その10549.08||Ha||4230216719, その11549.08||Ha||4330216728, その12549.08||Ha||4430216737, その13549.08||Ha||4530216746, その14549.08||Ha||4630216755

    OPAC

  • 名古屋大学 工学 図書室工中央書庫

    [その1]549.7||Ty11439474, その2549.7||Ty11439476, その3549.7||Ty11439478, その4549.7||Ty11439480, その5549.7||Ty11439482, その6549.7||Ty11439484, その7549.7||Ty11439486, その8549.7||Ty11439488, その9549.7||Ty11439489, その10549.7||Ty11439490, その11549.7||Ty11439491, その12549.7||Ty11440297, その13549.7||Ty11440298, その14549.7||Ty11440299

    OPAC

  • 奈良教育大学 図書館

    その4549.8||8||321200600478, その5549.8||8||341200600491, その6549.8||8||361200600514, その7549.8||8||381200600536, その8549.8||8||401200600558, その9549.8||8||411200600560, その10549.8||8||421200600571, その11549.8||8||431200600582, その12549.8||8||441200600593, その13549.8||8||451200600605, その14549.8||8||461200600616

    OPAC

  • 奈良県立図書情報館一般

    [その1]549.8-ニシサ111055543, その2549.8-ニシサ111055545, その3549.8-ニシサ111055547, その4549.8-ニシサ111055549, その5549.8-ニシサ111055551, その6549.8-ニシサ111055553, その7549.8-ニシサ111055555, その8549.8-ニシサ111055557, その9549.8-ニシサ111055558, その10549.8-ニシサ111055559, その11549.8-ニシサ111055560, その12549.8-ニシサ111055561, その13549.8-ニシサ111055562, その14549.8-ニシサ111055563

    OPAC

  • 奈良工業高等専門学校 図書館

    [その1]549.8||ニ0088542, その2549.8||ニ0088543, その3549.8||ニ0088544, その4549.8||ニ0088545, その5549.8||ニ0088546, その6549.8||ニ0088547, その7549.8||ニ0088548, その8549.8||ニ0088549, その9549.3||ニ0088550, その10549.8||ニ0088551, その11549.8||ニ0089542, その12549.8||ニ0089543, その13549.8||ニ0089544, その14549.8||ニ0089545

    OPAC

  • 奈良先端科学技術大学院大学 附属図書館

    [その1]549||HAN||260032580, その2549||HAN||280032581, その3549||HAN||300032582, その4549||HAN||320032583, その5549||HAN||340032584, その6549||HAN||360032585, その7549||HAN||380032586, その8549||HAN||400032587, その9549||HAN||410032588, その10549||HAN||420032589, その11549||HAN||430032590, その12549||HAN||440032591, その13549||HAN||450032592, その14549||HAN||460032593

    OPAC

  • 奈良大学 図書館図

    [その1]193989, その2193991, その3193993, その4193995, その5193997, その6193999, その7194001, その8194003, その9194004, その10194005, その11194006, その12194007, その13194008, その14194009

    OPAC

  • 新潟大学 附属図書館図

    [その1]549.08//H29//261030076669, その2549.08//H29//281030076680, その3549.08//H29//301030076705, その4549.08//H29//321030076727, その5549.08//H29//341030076749, その6549.08//H29//361030076760, その7549.08//H29//381030076782, その8549.08//H29//401030076793, その9549.08//H29//411030076807, その10549.08//H29//421030076818, その11549.08//H29//431030076829, その12549.08//H29//441030076830, その13549.08//H29//451030076840, その14549.08//H29//461030076851

    OPAC

  • 日本大学 工学部図書館図

    [その1]549.8||H 29||(26)J8803784, その2549.8||H 29||(28)J8803768, その3549.8||H 29||(30)J8901948, その4549.8||H 29||(32)J9001799, その5549.8||H 29||(34)J9101866, その6549.8||H 29||(36)J9201248, その7549.8||H 29||(38)J9301824, その8549.8||H 29||(40)J9402337

    OPAC

  • 日本大学 生産工学部図書館図

    その1549.08:ハ0902987759, その2549.08:ハ0902983089, その3549.08:ハ0903085546

    OPAC

  • 日本大学 文理学部図書館

    [その1]549||H29||2613600251, その2549||H29||2813748473, その3549||H29||3013865251, その4549||H29||3214026547, その5549||H 29||3414157483, その6549||H29||3614308698, その7549||H29||3814438320, その8549||H29||4014568218, その9549||H29||4114675740, その10549||H29||4214796330, その11549||H29||4314891809, その12549||H29||4414974390, その13549||H29||4515138995, その14549||H29||4615218060

    OPAC

  • 日本大学 理工学部図書館(船橋)理工船

    [その1]549.8||H 29||2688-2015, その2549.8||H 29||2889-1420, その3549.8||H 29||3090-1620, その4549.8||H 29||3291-0203, その5549.8||H 29||3492-2292, その6549.8||H 29||3693-2468, その7549.8||H 29||3894-1496

    OPAC

  • 日本大学 理工学部図書館 (駿河台)理工駿

    [その1]549.2||H 29||2688-4019, その2549.2||H 29||2889-1885, その3549.2||H 29||3090-2224, その4549.2||H 29||3291-2180, その5549.2||H 29||3492-3288

    OPAC

  • 沼津工業高等専門学校 図書館

    OPAC

  • 兵庫県立大学 姫路工学学術情報館図

    [その1]549.8||26||0371110204750, その2549.8||28||0371110204752, その3549.8||30||0371110204754, その4549.8||32||0371110204756, その5549.8||34||0371110204758, その6549.8||36||0371110204760, その7549.8||38||0371110204762, その8549.8||40||0371110204764, その9549.8||41||0371110204765, その10549.8||42||0371A110204766, その11549.8||43||0371110204767, その12549.8||44||0371110204768, その13549.8||45||0371110204769, その14549.8||46||0371110204770

    OPAC

  • 弘前大学 附属図書館本館

    [その1]549.8||H29||2607214496, その2549.8||H29||2807214510, その3549.8||H29||3007214534, その4549.8||H29||3207220866, その5549.8||H29||3407220881, その6549.8||H29||3607220904, その7549.8||H29||3807220928, その8549.8||H29||4007220943, その9549.8||H29||4107220955, その10549.8||H29||4207220967, その11549.8||H29||4307220970, その12549.8||H29||4407220982, その13549.8||H29||4507220994, その14549.8||H29||4607221006

    OPAC

  • 広島工業大学 附属図書館図書館

    [その1]549.8||H||260110852662, その2549.8||H||280111664322, その3549.8||H||300111664348, その4549.8||H||320111664389, その5549.8||H||340111664777, その6549.8||H||360111664793, その7549.8||H||380111665196, その8549.8||H||400111665212, その9549.8||H||410111665220, その10549.8||H||420111665303, その11549.8||H||430111665311, その12549.8||H||440111665329, その13549.8||H||450111665337, その14549.8||H||460111665345

    OPAC

  • 広島市立大学 附属図書館

    [その1]549/ハン/260000114820, その2549/ハン/280000115162, その3549/ハン/300000115179, その4549/ハン/320000117593, その5549/ハン/340000117609, その6549/ハン/360000114837, その7549/ハン/380002706030, その8549/ハン/400002706054, その9549/ハン/410002706061, その10549/ハン/420002706078, その11549/ハン/430002706085, その12549/ハン/440002706092, その13549/ハン/450002706108, その14549/ハン/460002085005

    OPAC

  • 広島大学 図書館 中央図書館

    その5549:H-296000401801

    OPAC

  • 福井工業高等専門学校 図書館

    [その1]54938||HAN||26B080308, その2549.8||HAN||28B080310, その3549.8||HAN||30B080312, その4549.8||HAN||32B080314, その5549.8||HAN||34B080316, その6549.8||HAN||36B080318, その7549.8||HAN||38B080320, その8549.8||HAN||40B080322, その9549.8||HAN||41B080323, その10549.8||HAN||42B080324, その11549.8||HAN||43B080325, その12549.8||HAN||44B080326, その13549.8||HAN||45B080327, その14549.8||HAN||46B080328

    OPAC

  • 福井大学 附属図書館

    [その1]549.8||HAN||26, その2549.8||HAN||28, その3549.8||HAN||30, その4549.8||HAN||32, その5549.8||HAN||34, その6549.8||HAN||36, その7549.8||HAN||38, その8549.8||HAN||40, その9549.8||HAN||41, その10549.8||HAN||42, その11549.8||HAN||43, その12549.8||HAN||44, その13549.8||HAN||45, その14549.8||HAN||46

    OPAC

  • 福岡工業大学 附属図書館図書館

    その3549/N871545441, その7549/N871545527, その8549/N871545655, その9549/N871545667, その10549/N871545542, その11549/N871545554, その12(半導体研究44、超LSI技術12)549/N871546660, その4549/N871545465, その5549/N871545480, その6549/N871545503, [その1]549/N874821057, その2549/N874821072, その13549/N874821134, その14549/N874821146

    OPAC

  • 福岡大学 図書館

    [その1]10738411

    OPAC

  • 福島工業高等専門学校図

    [その1]077236, その2077238, その3077240, その4077242, その5077244, その6077246, その7077248, その8077250, その9077251, その10077252, その11077253, その12077254, その13077255, その14077256

    OPAC

  • 福島大学 附属図書館

    [その1]549/H29h/2610400137, その2549/H29h/2810400139, その3549/H29h/3010400141, その4549/H29h/3210400143, その5549/H29h/3410400145, その6549/H29h/3610400147, その7549/H29h/3810400149, その8549/H29h/4010400151, その9549/H29h/4110400152, その10549/H29h/4210400153, その11549/H29h/4310400154, その12549/H29h/4410400155, その13549/H29h/4510400156, その14549/H29h/4610400157

    OPAC

  • 福山大学 附属図書館

    [その1]549.8||H||26130400110, その2549.8||H||28130400112, その3549.8||H||30130400114, その4549.8||H||32130400116, その5549.8||H||34130400118, その6549.8||H||36130400120, その7549.8||H||38130400122, その8549.8||H||40130400124, その9549.8||H||41130400125, その10549.8||H||42130400126, その11549.8||H||43130400127, その12549.8||H||44130400128, その13549.8||H||45130400129, その14549.8||H||46130400130

    OPAC

  • 北陸先端科学技術大学院大学 附属図書館図

    [その1]M40.1/H29 / 261:2921542, その2M40.1/H29 / 281:2921545, その3M40.1/H29 / 301:2921547, その4M40.1/H29 / 321:2921549, その5M40.1/H29 / 341:2921551, その6M40.1/H29 / 361:1943114, その7M40.1/H29 / 381:1950490, その8M40.1||H29 || 402030042, その9M40.1||H29 || 411002312, その10M40.1||H29 || 421002313, その11M40.1||H29 || 431002314, その12M40.1||H29 || 441002315, その13M40.1||H29 || 452030043, その14M40.1||H29 || 462030044

    OPAC

  • 北海道大学 大学院工学研究科・工学部図書室図書

    [その1]537.6/HAN3570163170, その2537.6/HAN3570163192, その3dc19:537.6/han3570298036, その4dc19:537.6/han3570296295, その5dc19:537.6/HAN3570296318, その6dc20:537.6/han3570338147, その7dc20:537.6/han3570381460, その8DC20:537.6/H1923570406583, その10537.6/HAN3570470547, その11537.6/H1923570507005, その12537.6/H1923570540416

    OPAC

  • 北海道大学 附属図書館図

    [その1]537.6/HAN/260174242104, その2537.6/HAN/280174242126, その3537.6/HAN/300174242148, その4537.6/HAN/320174242161, その5537.6/HAN/340174242183, その6537.6/HAN/360174242206, その7537.6/HAN/380174242228, その8537.6/HAN/400174242241, その9537.6/HAN/410174242252, その10537.6/HAN/420174242263, その11537.6/HAN/430174242274, その12537.6/HAN/440174242285, その13537.6/HAN/450174242296, その14537.6/HAN/460174242308

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  • 松江工業高等専門学校 図書館

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  • 三重大学 附属図書館

    [その1]549.9/H 29/2650304013, その2549.9/H 29/2850304015, その3549.9/H 29/3050304017, その4549.9/H 29/3250304019, その5549.9/H 29/3450304021, その6549.9/H 29/3650304023, その7549.9/H 29/3850304025, その8549.9/H 29/4050304027, その9549.9/H 29/4150304028, その10549.9/H 29/4250304029, その11549.9/H 29/4350304030, その12549.9/H 29/4450304031, その13549.9/H 29/4550304032, その14549.9/H 29/4650304033

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  • 宮城教育大学 附属図書館

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    [その1]549.8||H||26000062923, その2549.8||H||28000062925, その3549.8||H||30000062927, その4549.8||H||32000062929, その5549.8||H||34000062931, その6549.8||H||36000062933, その7549.8||H||38000062935, その8549.8||H||40000062937, その9549.8||H||41000062938, その10549.8||H||42000062939, その11549.8||H||43000062940, その12549.8||H||44000062941, その13549.8||H||45000062942, その14549.8||H||46000062943

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  • 宮崎大学 附属図書館図

    その4549||H2||1-3200449083, その8549||H2||1-4000449092, その7549||H2||1-3800449090, その6549||H2||1-3600449087, その12549||H2||1-4400449088, その5549||H2||1-3400449085, その9549||H2||1-4100449093, その2549||H2||1-2800449876, その13549||H2||1-4500449877, その11549||H2||1-4300449095, その10549||H2||1-4200449094, [その1]549||H2||1-2600449078, その14549||H2||1-4600449096, その3549||H2||1-3000449081

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  • 室蘭工業大学 附属図書館図

    [その1]549.7||v.26160483, その2549.7||v.28366005, その3549.7||v.30370240, その4549.7||v.32374413, その5549.7||v.34378748, その6549.7||v.36382592, その7549.7||v.38386380, その8549.7||v.40389603, その9549.7||v.41393988, その10549.7||v.42398289, その11549.7||v.43401175, その12549.7||v.44404608, その13549.7||v.45408704, その14549.7||v.46410867

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  • 明治大学 図書館生

    [その1]549||193||C||K18823138, その2549||193||C||K18820178, その3549||193||C||K19001343, その4549||193||C||K19012444, その5549||193||C||S19117836, その6549||193||C||S19214677, その9549||193||C||S19516613, その10549||193||C||K19617848, その11549||193||C||K19712196, その14549||193||D||S1200007224

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  • ものつくり大学 図書館・メディア情報センター図情セ

    その3549.8||H29||3000004052, その4549.8||H29||3200004054, その5549.8||H29||3400004056, その6549.8||H29||3600004058, その7549.8||H29||3800004060, その10549.8||H29||4200004062, その11549.8||H29||4300004063

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  • 山形大学 工学部図書館

    [その1]710300578, その2710300580, その3710300582, その4710300584, その5710300586, その6710300588, その7710300590, その8710300592, その9710300593, その10710300594, その11710300595, その12710300596, その13710300597, その14710300598

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  • 山口大学 図書館 工学部図書館

    [その1]549.8/H93/262207001881, その2549.8/H93/282207001906, その3549.8/H93/302207001928, その4549.8/H93/322207001940, その5549.8/H93/342207001961, その6549.8/H93/362207001983, その7549.8/H93/382207002000, その8549.8/H93/402207002022, その9549.8/H93/412207002033, その10549.8/H93/422207002044, その11549.8/H93/432207002055, その12549.8/H93/442207002066, その13549.8/H93/452207002077, その14549.8/H93//462207002088

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  • 山梨大学 附属図書館

    [その1]5492003075490, その25492003075515, その35492003075537, その45492003075559, その55492003075570, その65492003075592, その75492003075617, その85492003075639, その95492003075640, その105492003075650, その115492003075661, その125492003075672, その135492003075683, その145492003075694

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  • 横浜国立大学 附属図書館

    [その1]549.8||HA01598672, その2549.8||HA11379946, その3549.8||HA11379961, その4549.8||HA11379985, その5549.8||HA11380008, その6549.8||HA11380023, その7549.8||HA11380047, その8549.8||HA11380062, その9549.8||HA11380074, その10549.8||HA11380086, その11549.8||HA11380098, その12549.8||HA11380100, その13549.8||HA11380112, その14549.8||HA11380124

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  • 立命館大学 図書館

    [その1]7310939451, その27310939475, その37310939499, その40113269640, その50113431429, その60113575087, その70113722278, その87310263182, その97310939608, その107310578296, その117310892331, その127310892343, その137310892355, その147310892367

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  • 琉球大学 附属図書館

    [その1]549.8||HA||2688005340, その2549.8||HA||2889013792, その3549.8||HA||3089013794, その4549.8||HA||322003402363, その5549.8||HA||342003402365, その6549.8||HA||362003402367, その7549.8||HA||382003402369, その8549.8||HA||402003402371, その9549.8||HA||41950074471, その10549.8||HA||4296603357, その11549.8||HA||432003402374, その12549.8||HA||442003402375, その13549.8||HA||452003402376, その14549.8||HA||462003402377

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  • 龍谷大学 瀬田図書館図

    [その1]39240016482, その239240016458, その339240016471, その430300053942, その530300053964, その630300053986, その730300054008, その839600066671, その930300054021, その1030300054032, その1130300054043, その1230000061078, その1339900119432, その1430300054054

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  • 遼寧省図書館

    TN47

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  • 和歌山工業高等専門学校 図書館

    [その1]549.8||Ha||26081618, その10549.8||Ha||42081634, その11549.8||Ha||43081635, その12549.8||Ha||44081636, その13549.8||Ha||45081637, その14549.8||Ha||46081638, その2549.8||Ha||28081620, その3549.8||Ha||30081622, その4549.8||Ha||32081624, その5549.8||Ha||34081626, その6549.8||Ha||36081628, その7549.8||Ha||38081630, その8549.8||Ha||40081632, その9549.8||Ha||41081633

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注記

各章末: 参考文献

内容説明・目次

巻冊次

[その1] ISBN 9784769310617

内容説明

本巻は高速バイポーラデバイス技術、バイポーラＣＭＯＳ混載技術、微細ＭＯＳ技術をはじめとして、今後の超ＬＳＩ用技術として大いに期待される光励起プロセスや超高分解能走査形電子顕微鏡、さらには高分解能電子エネルギー損失分光に至るまで、基礎から応用に渡って幅広く検討する。

目次

  • １．　高速バイポーラデバイス技術
  • ２．　バイポーラＣＭＯＳ混載技術
  • ３．　サブミクロンＭＯＳのシミュレーション
  • ４．　微細ＭＯＳＦＥＴのホットキャリア効果
  • ５．　ＳＯＩ技術
  • ６．　超高分解能走査形電子顕微鏡
  • ７．　レーザ誘起光化学プロセスの基礎過程
  • ８．　ＳＯＲ光励起光化学反応と半導体プロセスへの応用
  • ９．　高分解能電子エネルギー損失分光（ＨＲＥＥＬＳ）による単結晶清浄表面と気体分子との相互作用
巻冊次

その2 ISBN 9784769310686

内容説明

第２８巻は、ＤＲＡＭ、ＳＲＡＭデバイス技術をはじめとして、酸化、エッチング等のプロセス技術、さらには表面、界面の解析法に至るまで、基礎から応用に亘って幅広く検討することを目的とした。

目次

  • １　メガビットＤＲＡＭ技術
  • ２　ＣＭＯＳ・ＳＲＡＭプロセスデバイス技術
  • ３　サブミクロン光リングラフィ
  • ４　サブミクロンプロセスシミュレーション
  • ５　薄いシリコン酸化膜の信頼性
  • ６　ＥＣＲプラズマプロセス
  • ７　多孔質シリコンと金属・シリコン界面
  • ８　Ｘ線回折法によるシリコン表面・界面の解析
  • ９　電子分光法による表面の評価と吸着
  • パネルディスカッション
巻冊次

その3 ISBN 9784769310747

目次

  • １　大容量ＭＯＳＤＲＡＭプロセス技術—現状と今後の課題
  • ２　メガヒットＤＲＡＭ回路技術
  • ３　薄いシリコン酸化膜とその界面の構造
  • ４　タングステン選択ＣＶＤ技術
  • ５　微細Ａｌ配線の信頼性
  • ６　微細コンタクト技術の基礎としての金属／半導体界面
  • ７　選択エピタキシャル成長におけるファセットと積層欠陥の発生機構
  • ８　集束イオンビーム技術
  • ９　プラズマプロセスにおけるイオン・ラジカルの診断と制御
巻冊次

その4 ISBN 9784769310839

目次

  • １．　メタライゼーションにおける評価技術
  • ２．　低抵抗オーミックコンタクトと配線材料
  • ３．　高エネルギー（ＭｅＶ）イオン注入技術
  • ４．　高誘電率積層絶縁膜の信頼性
  • ５．　薄い酸化膜がデバイスに与える影響
  • ６．　低温マイクロ波プラズマエッチング技術
  • ７．　Ｓｉ光エピタキシー
  • ８．　ｉ線リソグラフィ
  • ９．　高解像フォトレジストプロセス
巻冊次

その5 ISBN 9784769310884

内容説明

第３４巻は超ＬＳＩシリーズの１５巻目にあたり、サブハーフミクロンに向けたＣＭＯＳ技術をはじめとして、メタル配線技術、ドライエッチング技術、エピタキシー、フォトリソグラフィ等の各要素技術について基礎から見直し、今後の開発について検討することを目的とした。

目次

  • １　サブハーフミクロンＣＭＯＳトランジスタ
  • ２　配線破断メカニズムと配線材料
  • ３　ダウンフロープロセス技術
  • ４　ドライエッチングにおける表面反応制御技術
  • ５　シリコン分子層エピタキシ
  • ６　電界イオン‐走査トンネル顕微鏡（ＦＩ‐ＳＴＭ）
  • ７　新リソグラフィ技術—光の限界の打破および電子ビームの高速化
  • ８　エキシマレーザリソグラフィ
  • ９　小型放射光源開発の現状
  • パネルディスカッション
巻冊次

その6 ISBN 9784769310976

内容説明

第３６巻は超ＬＳＩシリーズの１６巻目に当たり、微細化、高集積化により３次元的に複雑になるデバイス構造に対して生じる諸問題について基礎から見直し、今後の開発の方向について考える。

目次

  • １　６４Ｍ　ＤＲＡＭ技術
  • ２　不揮発性メモリ技術
  • ３　超高速バイポーラデバイスの現状と将来
  • ４　３次元形状シミュレーション
  • ５　サイクロトロンＳＥＭによる高アスペクト比デバイスの観察
  • ６　位相シフト法を用いた光リソグラフィ技術
  • ７　有機シリコン系ＣＶＤ技術
  • ８　低温ダメージダウンフローアッシング
  • ９　シリコン自然酸化膜の成長機構
  • パネルディスカッション
巻冊次

その7 ISBN 9784769311133

内容説明

本書では、微細化、高集積化に向けた各プロセスを基礎から見直し、今後の開発方向を考えることを目的とした。

目次

  • １　赤外線イメージセンサ技術
  • ２　デバイスシミュレーション技術
  • ３　ＵＨＶ‐ＣＶＤによるＧｅｘＳｉ１−ｘ選択成長およびＨＳＧ‐ｐｏｌｙ　Ｓｉの形成
  • ４　複合磁場によるＥＣＲエッチング技術
  • ５　マグネトロンエッチング技術
  • ６　低ダメージ・低欠陥ドライエッチプロセス
  • ７　Ａｌ配線のストレスマイグレーション
  • ８　タングステンＣＶＤを用いた微細配線形成技術
  • ９　ＣＺ‐Ｓｉ結晶中の軽元素不純物の挙動
  • １０　分子線散乱法による表面反応解析
巻冊次

その8 ISBN 9784769311294

目次

  • １　サブ０．１μｍＭＯＳＦＥＴの特性と電気伝導機構
  • ２　０．１ミクロンＣＭＯＳ技術
  • ３　０．１μｍＭＯＳＦＥＴにおける短チャネル効果とその制御
  • ４　ＮＡＮＤ型メモリ
  • ５　薄膜ＳＯＩ　ＭＯＳＦＥＴ技術
  • ６　ウェハ張り合わせＳＯＩ技術
  • ７　ゲート酸化膜の構造と長期信頼性
  • ８　界面制御による多層配線の信頼性
  • ９　金属‐Ｓｉ界面の結晶学的・電子的構造とコンタクト抵抗
巻冊次

その9 ISBN 9784769311409

目次

  • １　ディープサブミクロンＣＭＯＳ技術
  • ２　不揮発性半導体メモリに要求される酸化膜の信頼性
  • ３　光リソグラフィの高解像度化技術
  • ４　ＥＣＲプラズマによる微細加工技術
  • ５　高周波高密度プラズマの生成と高速・高選択比ＳｉＯ２／Ｓｉエッチング
  • ６　半導体プロセスにおけるチャージアップ
  • ７　サブハーフミクロン多層配線技術
  • ８　単結晶Ａｌ配線技術
  • ９　Ｓｉ（１１１）表面への水素原子吸着と平坦化
巻冊次

その10 ISBN 9784769311485

内容説明

本書は、超ＬＳＩシリーズの２０巻目にあたり、サブ０．１μｍ世代に向けて各プロセスを基礎から見直し、今後の開発方向を考えることを目的とした。

目次

  • １章　シリコンＬＳＩの将来
  • ２章　イオン注入によるクォータミクロンＣＭＯＳ構造設計
  • ３章　高精度プロセスモデリング
  • ４章　０．３５〜０．２５μｍ光リソグラフィ技術
  • ５章　ＥＢ露光（図形一括露光とマルチビーム）の現状と課題
  • ６章　化学増幅型レジストの現状と今後の展望
  • ７章　Ｏ３酸化技術
  • ８章　アルミニウム配線のエレクトロマイグレーション
  • ９章　シリコンにおける重金属ゲッタリング
巻冊次

その11 ISBN 9784769311560

目次

  • １章　マルチメディアＬＳＩと低消費電力設計技術
  • ２章　論理照合ＣＡＤの先端技術
  • ３章　ギガビット時代のスタック型ＤＲＡＭセル技術
  • ４章　ギガビット世代を指向したＤＲＡＭトレンチ・セル技術
  • ５章　フラッシュメモリの高集積化技術
  • ６章　ＳＲ露光技術
  • ７章　ウェット洗浄・表面処理技術
  • ８章　微細線チタンシリサイド技術
  • ９章　半導体表面におけるフラーレン分子の吸着及び薄膜形成
巻冊次

その12 ISBN 9784769311638

内容説明

本書は、これからのギガビット時代に向けて、回路、デバイス、プロセスの多方面にわたり、基礎から考えるものである。

目次

  • １章　サブ０．１μｍ　ＣＭＯＳ‐ＬＳＩのデバイス・回路技術
  • ２章　ＳＩＭＯＸ技術を用いた高性能・低消費電力ＬＳＩ
  • ３章　強誘電体不揮発メモリのプロセスデバイス技術
  • ４章　トンネルゲート酸化膜ＭＯＳＦＥＴ技術
  • ５章　ＳｉＯ２ホール内でのエッチング表面反応
  • ６章　コンピュータと実験を最適に動員するＣＶＤモデリング
  • ７章　酸化マンガン研磨剤を用いたＣＭＰ技術
  • ８章　ＵＬＳＩデバイスにおける埋め込み多層配線技術
  • ９章　Ａｌ系配線の高信頼化技術
巻冊次

その13 ISBN 9784769311737

内容説明

今後の集積回路開発ではチップの高速化、低消費電力化、高効率化がこれまで以上に強く求められるようになる。本巻では、プロセス技術、デバイス技術、回路技術の３つの技術分野から高速化、低消費電力化、高効率化の鍵を握ると思われる技術を取り上げ、研究開発の現状と将来の可能性について言及している。

目次

  • １章　洗浄技術
  • ２章　コンタクト技術
  • ３章　超精密ポリシング／ＣＭＰのメカニズムと半導体プロセスへの適用
  • ４章　超高速ＵＬＳＩ実現に向けた多層配線技術—有機膜Ｃｕ配線技術の現状と課題
  • ５章　高周波ＣＭＯＳデバイス・回路技術
  • ６章　ＳＩＴ
  • ７章　超高速ＳＯＩ　ＢｉＣＭＯＳ技術
  • ８章　ＳｉＧｅ　ＨＢＴ技術
  • ９章　ＣＭＯＳイメージセンサ
巻冊次

その14 ISBN 9784769311867

内容説明

集積回路技術が急速に進歩し、０．１μｍの最小加工寸法をもつ集積回路の実現も間近に迫っていることから、本巻では、０．１μｍ時代へ向けてのプロセス、デバイス、回路技術という視点から０．１μｍ集積回路実現の鍵を握ると思われる重要技術を取り上げ、研究開発の現状と実用化の可能性について言及している。

目次

  • 本文（高速低消費電力部分空乏型ＳＯＩ‐ＣＭＯＳ技術；極浅接合形成技術；二次宇宙線の中性子が引き起こすソフトエラー；高速ＤＲＡＭ設計技術；ＤＲＡＭ・論理混載ＬＳＩアーキテクチャ；ＤＲＡＭ混載ＬＳＩ技術；ＡｒＦレーザ露光技術（露光装置；フォトレジスト材料）；高精度プラズマエッチング技術）
  • パネルディスカッション

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  • 半導体研究

    半導体研究振興会編

    工業調査会

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN01703089
  • ISBN
    • 4769310617
    • 4769310684
    • 4769310749
    • 4769310838
    • 4769310889
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    • 476931129X
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  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    冊
  • 大きさ
    27cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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