真空技術ハンドブック

著者

• 金持, 徹 カナジ, トオル

書誌事項

真空技術ハンドブック

金持徹編

日刊工業新聞社, 1990.3

タイトル読み

シンクウ ギジュツ ハンドブック

内容説明・目次

目次

• 第１章　真空の科学（真空の特徴；気体の考え方；気体分子運動論；気体分子運動論から導かれる諸関係）
• 第２章　真空システム（コンダクタンス；実効排気速度と到達圧力；排気系設計のポイント；超高真空システムの極高真空システム；真空部品；真空材料；極高真空装置用の材料とガス放出）
• 第３章　真空ポンプ（真空ポンプの現状と開発動向；油回転ポンプ；ルーツポンプ；ドライ真空ポンプ；油拡散ポンプ；ターボ分子ポンプ；クライオポンプ；スパッタイオンポンプ；チタンサブリメーションポンプ）
• 第４章　真空計測（全圧計・分圧計の種類と利用法；熱伝導真空計；電離真空計；スピニングローター真空計；隔膜真空計；全圧計の校正；極高真空全圧計とその校正；四極子マスフィルタ）
• 第５章　真空装置の管理（真空装置のトラブルとその対策；各種の真空装置における洩れ探し；ヘリウムリークデテクタとその使用技術；真空装置の汚染に関するトラブル）
• 第６章　真空を利用した薄膜製造装置（真空蒸着法；分子線エピタキシー；スパッタ法；イオンプレーティングとその応用技術；イオンビームによる薄膜形成；ドライエッチング技術；ＣＶＤ法）
• 第７章　真空を利用した薄膜製造技術（薄膜製造における真空技術；酸化物超伝導体と薄膜化技術；薄膜センサ；セラミックス膜；ダイヤモンド薄膜）
• 第８章　真空利用装置と利用技術（電子顕微鏡における真空技術；表面分析技術における真空技術；真空断熱技術；スペースチャンバ；大型加速器における真空技術；最近の真空利用）
• 第９章　規格等

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN04554848
• ISBN:
  • 4526026778
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: x, 826, 12p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 534.93
• 件名:
  • BSH : 真空技術 -- 便覧