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薄膜

吉田貞史著

(応用物理工学選書, 3)

培風館, 1990.6

タイトル読み

ハクマク

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注記

引用文献: p269-292

内容説明・目次

目次

  • 1章 薄膜の作製
  • 2章 薄膜の膜厚と構造、組成
  • 3章 薄膜の機械的・熱的性質
  • 4章 薄膜の電気的・磁気的性質
  • 5章 薄膜の光学的性質
  • 6章 半導体薄膜

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN04909069
  • ISBN
    • 4563023337
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    viii, 300p
  • 大きさ
    22cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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